[实用新型]蒸发台坩埚装置及蒸发台系统

权利要求书

1.一种蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述坩埚装置包括基板、两个坩埚磁极臂、挡板驱动器、挡板驱动器固定架、两个电子枪保护组件以及坩埚；

两个所述坩埚磁极臂分别连接设置在所述基板的两侧，在所述基板的上方，两个所述坩埚磁极臂之间形成容置所述坩埚的空隙，所述坩埚支撑设置在所述两个坩埚磁极臂上；

两个所述电子枪保护组件分别设置在所述坩埚的第一端的两侧，所述挡板驱动器固定架设置在所述坩埚的第二端，所述挡板驱动器设置在所述挡板驱动器固定架远离所述坩埚的一端；

所述基板上设置有电子枪固定组件，所述电子枪固定组件用于固定电子枪，所述坩埚的置物孔的口径为40mm-80mm。

2.根据权利要求1所述的蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述坩埚装置还包括底板，所述底板设置在所述基板的下方；

所述电子枪保护组件以及所述挡板驱动器固定架分别固定在所述底板的两端。

3.根据权利要求2所述的蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述底板对应所述坩埚的第一端的两侧分别设置有第一支撑柱，所述电子枪保护组件设置在所述第一支撑柱上。

4.根据权利要求2所述的蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述挡板驱动器固定架包括支撑板和两第二支撑柱，两所述第二支撑柱分别固定在所述底板对应所述坩埚的第二端的两侧，所述支撑板固定两所述第二支撑柱上。

5.根据权利要求1所述的蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述坩埚装置还包括坩埚扫描线圈，所述坩埚扫描线圈设置在所述坩埚的第一端的端部上。

6.根据权利要求1所述的蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述坩埚装置包括腔室衬板，所述腔室衬板设置在所述坩埚的上方，且所述腔室衬板对应所述坩埚的置物孔的位置设置有开孔，所述开孔与所述坩埚的置物孔适配。

7.根据权利要求6所述的蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述坩埚装置还包括挡圈，所述挡圈设置在所述腔室衬板的开孔内，且所述挡圈对应设置在所述坩埚的置物孔的周向外侧上。

8.根据权利要求6或7所述的蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述坩埚装置还包括挡板，所述挡板与所述挡板驱动器连接，所述挡板设置在所述腔室衬板的上方；

所述挡板在所述挡板驱动器的作用下在阻挡坩埚置物孔位置和非阻挡坩埚置物孔位置之间移动。

9.根据权利要求2所述的蒸发台坩埚装置，其特征在于，所述基板通过垫柱支撑设置在所述底板上；

所述坩埚的上沿高度距离载片轨道的高度为25-30cm。

10.一种蒸发台系统，包括蒸发台，其特征在于，所述蒸发台上设置有权利要求1-9任一项所述的蒸发台坩埚装置。