[实用新型]单晶炉石墨坩埚提升机构

说明书

本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，特别涉及一种单晶炉石墨坩埚提升机构。包括提升架；提升架为环形，沿周向均布若干通孔；旋转机构包括旋转轴及锁紧块；旋转轴有多根，顶部设于提升架上的通孔内，并通过垫环与锁紧块固定；每个旋转轴底端均设有提升块；锁紧块上端面上设有腰型槽；转盘设于提升架上方，转盘周向均布多个腰型孔，旋转轴顶端设于腰型孔内；转盘下端面设有若干导向件，导向件下端设于锁紧件的腰型孔内，并能沿着腰型槽移动。本实用新型与手工装卸相比，本实用新型不会对坩埚表面造成材料污染，也不必将坩埚切成三瓣，既节省人力又节省物力。

技术领域

本实用新型是关于单晶硅制备设备领域，特别涉及一种单晶炉石墨坩埚提升机构。

背景技术

在直拉法单晶炉生产硅单晶的过程中，会涉及更换石墨坩埚。位于加热器内的石墨坩埚在更换过程中，由于坩埚外壁与加热器内壁距离较近，现有的安装方式为将石墨坩埚切成三瓣，人工装卸。本专利涉及的吊装机构可以实现装夹，安放和保护石墨坩埚，并且无需将坩埚做成三瓣，既节省人力又节省物力，还能做到不让其表面被其它材质污染，能更方便快捷地安装、拆卸石墨坩埚。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种单晶炉石墨坩埚提升机构。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：

提供一种单晶炉石墨坩埚提升机构，包括提升架、旋转机构、转盘与提升块；

提升架为环形，沿周向均布若干通孔；

旋转机构包括旋转轴及锁紧块；旋转轴有多根，顶部设于提升架上的通孔内，并通过垫环与锁紧块固定；每个旋转轴底端均设有提升块；锁紧块上端面上设有腰型槽；

转盘设于提升架上方，转盘周向均布多个腰型孔，旋转轴顶端设于腰型孔内；转盘下端面设有若干导向件，导向件下端设于锁紧件的腰型孔内，并能沿着腰型槽移动。

作为一种改进，旋转轴顶部开有多边形径向定位台阶，用于定位锁紧块。

作为一种改进，转盘下端面设有垫块。

作为一种改进，导向件为圆柱形，通过挡圈与转盘相连。

作为一种改进，提升架顶端设有吊环。

导向件材质为耐磨材料；旋转轴为碳碳复合材料，能在保证强度的情况下保护石墨坩埚外表面不与加热器接触，从而起到不被其他材料污染的作用；提升块材质为碳碳复合材料，通过螺母锁紧，提升块上设有安装斜面，工作时与石墨坩埚下方的斜面贴合，从而实行很好的径向受力平衡，以此来更稳地承受石墨坩埚的重力。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

与手工装卸相比，本实用新型不会对坩埚表面造成材料污染，也不必将坩埚切成三瓣，既节省人力又节省物力。

附图说明

图1为本实用新型的上视图。

图2为本实用新型热场内部工作状态剖视图。

图3为本实用新型的等轴侧图。

图中：1-提升架、2-旋转机构、3-转盘、4-提升块、5-垫块、6-热场、7-石墨坩埚。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细说明：

如图1、图2、图3所示的一种单晶炉石墨坩埚提升机构，包括提升架1、旋转机构 2、转盘3与提升块4；

提升架1为环形，沿周向均布若干通孔；