[实用新型]单晶炉石墨坩埚提升机构有效
| 申请号: | 201920294725.4 | 申请日: | 2019-03-08 |
| 公开(公告)号: | CN210085618U | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
| 发明(设计)人: | 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;王鹏飞;吴虞超;谭庆 | 申请(专利权)人: | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
| 地址: | 312300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 单晶炉 石墨 坩埚 提升 机构 | ||
1.一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,包括提升架、旋转机构、转盘与提升块;
所述提升架为环形,沿周向均布若干通孔;
所述旋转机构包括旋转轴及锁紧块;旋转轴有多根,顶部设于提升架上的通孔内,并通过垫环与锁紧块固定;每个旋转轴底端均设有提升块;所述锁紧块上端面上设有腰型槽;
所述转盘设于提升架上方,转盘周向均布多个腰型孔,旋转轴顶端设于腰型孔内;转盘下端面设有若干导向件,导向件下端设于锁紧件的腰型孔内,并能沿着腰型槽移动。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,所述旋转轴顶部开有多边形径向定位台阶,用于定位锁紧块。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,所述转盘下端面设有垫块。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,所述导向件为圆柱形,通过挡圈与转盘相连。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,所述提升架顶端设有吊环。
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