[实用新型]单晶炉石墨坩埚提升机构有效

专利信息
申请号: 201920294725.4 申请日: 2019-03-08
公开(公告)号: CN210085618U 公开(公告)日: 2020-02-18
发明(设计)人: 曹建伟;傅林坚;胡建荣;高宇;倪军夫;叶钢飞;王鹏飞;吴虞超;谭庆 申请(专利权)人: 浙江晶盛机电股份有限公司
主分类号: C30B15/10 分类号: C30B15/10;C30B29/06
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 周世骏
地址: 312300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 单晶炉 石墨 坩埚 提升 机构
【权利要求书】:

1.一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,包括提升架、旋转机构、转盘与提升块;

所述提升架为环形,沿周向均布若干通孔;

所述旋转机构包括旋转轴及锁紧块;旋转轴有多根,顶部设于提升架上的通孔内,并通过垫环与锁紧块固定;每个旋转轴底端均设有提升块;所述锁紧块上端面上设有腰型槽;

所述转盘设于提升架上方,转盘周向均布多个腰型孔,旋转轴顶端设于腰型孔内;转盘下端面设有若干导向件,导向件下端设于锁紧件的腰型孔内,并能沿着腰型槽移动。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,所述旋转轴顶部开有多边形径向定位台阶,用于定位锁紧块。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,所述转盘下端面设有垫块。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,所述导向件为圆柱形,通过挡圈与转盘相连。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉石墨坩埚提升机构,其特征在于,所述提升架顶端设有吊环。

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