[实用新型]一种多尺寸片盒放置载台

说明书

本实用新型涉及一种多尺寸片盒放置载台，包括底座，所述的底座上端横向安装有长板，该长板前端中部安装有短板，所述的长板后端的两侧均设置有水平的延伸部，该长板和短板整体呈凸字型板状结构，所述的底座上端位于短板的前方安装有凹型板，该底座上端位于凹型板后端开口处的左右两侧对称安装有呈L型的限位块，所述的凹型板前端的两侧对称设置有L型卡接块，该L型卡接块与凹型板的侧壁围成呈矩形的定位缺口。本实用新型6寸和8寸片盒可以共用。本装置具有结构简单实用、使用方便和结构可靠、运行平稳的特点，避免了因更换不同尺寸片盒造成的停机和产品损失。

技术领域

本实用新型涉及半导体工装夹具技术领域，特别是涉及一种多尺寸片盒放置载台。

背景技术

随着设备的自动化程度的日益加深，在一些使用机械手自动上下料的设备中，工件的定位准确度要求也随之增加。硅片检测设备一般用于测量6英寸和8英寸的硅片，不同的硅片用不同尺寸的片盒盛放，目前的做法是：当更换不同尺寸的片盒时，需要更换相应的夹具。但因夹具定位精度及结构的限制，再加上作业员更替频繁，经常出现人为不易察觉但实际放不到位的情况，造成机械手取片时发生硅片掉出或整盒片子倾倒，从而造成设备停机等重大损失。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种多尺寸片盒放置载台，6寸和8寸片盒可以共用。本装置具有结构简单实用、使用方便和结构可靠、运行平稳的特点，避免了因更换不同尺寸片盒造成的停机和产品损失。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种多尺寸片盒放置载台，包括底座，所述的底座上端横向安装有长板，该长板前端中部安装有短板，所述的长板后端的两侧均设置有水平的延伸部，该长板和短板整体呈凸字型板状结构，所述的底座上端位于短板的前方安装有凹型板，该底座上端位于凹型板后端开口处的左右两侧对称安装有呈L型的限位块，所述的凹型板前端的两侧对称设置有L型卡接块，该L型卡接块与凹型板的侧壁围成呈矩形的定位缺口。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的长板和短板一体成型。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的长板和短板均通过螺钉与底座固定。

作为对本实用新型所述的技术方案的一种补充，所述的凹型板与两个L型卡接块一体成型。

有益效果：本实用新型涉及一种多尺寸片盒放置载台，6寸和8寸片盒可以共用。本装置具有结构简单实用、使用方便和结构可靠、运行平稳的特点，避免了因更换不同尺寸片盒造成的停机和产品损失。

附图说明

图1是本实用新型的俯视结构示意图；

图2是本实用新型安装上6寸片盒的俯视结构示意图；

图3是本实用新型安装上8寸片盒的俯视结构示意图。

图示：1、底座，2、限位块，3、凹型板，4、L型卡接块，5、定位缺口，6、短板，7、长板，8、螺钉，9、延伸部。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本申请所附权利要求书所限定的范围。