[实用新型]一种具有分体式火山口的坩埚结构

说明书

本实用新型提供了一种具有分体式火山口的坩埚结构，它包括坩埚本体、甲板、分体式火山口以及支撑架，所述甲板固定在支撑架上，坩埚本体设在甲板下方，坩埚本体上端面具有坩埚口，所述甲板上对应于坩埚口处设有U型缺口，所述分体式火山口的形状与所述U型缺口的形状相配合，并可拆卸的连接到U型缺口，分体式火山口上设有圆形开口，该圆形开口的大小和位置均对应于坩埚口设置并与其连通。本实用新型其至少具有维护时间短、避免坩埚震动引起定位的偏移或故障、火山口单独维护时间灵活、提升作业效率、降低安全风险等优点。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备的技术领域，尤其涉及一种具有分体式火山口的坩埚结构。

背景技术

在高真空蒸发镀膜设备领域，电子束蒸发源的坩埚与甲板大多是一体式的，即甲板本体与电子束蒸发的火山口是一体加工成型的。仅有一个甲板火山口。在蒸发镀膜时，甲板火山口口部的斜坡表面也会镀到膜。当火山口处蒸发膜厚达到一定厚度时，需要定期把甲板火山口上附着的金属膜去除掉。否则附着的金属膜较厚，坩埚在转动时容易卡住，导致无法生产。目前每次维护时，需要停止设备，将设备降温到常温，使用錾子和榔头等工具，用錾子的尖头部分铲除坩埚火山口处附着的金属，使之脱落，恢复原来的状态，耗时耗力。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种具有分体式火山口的坩埚结构，其至少具有维护时间短、避免敲击维护时的坩埚振动引起定位的偏移或故障、维护时间灵活、提升作业效率、降低安全风险等优点。

为达到上述目的，本实用新型通过以下技术方案来实现：

一种具有分体式火山口的坩埚结构，它包括坩埚本体、甲板、分体式火山口以及支撑架，所述甲板固定在支撑架上，坩埚本体设在甲板下方，坩埚本体上端面具有坩埚口，所述甲板上对应于坩埚口处设有U型缺口，所述分体式火山口的形状与所述U型缺口的形状相配合，并可拆卸的连接到U型缺口，分体式火山口上设有圆形开口，该圆形开口的大小和位置均对应于坩埚口设置并与其连通，所述U型缺口的内沿设有用于支撑和固定分体式火山口外沿的台阶，所述分体式火山口外沿设有与U型缺口的内沿的台阶相配合的延边，所述分体式火山口的横截面为U型。

作为优选实施方式之一，所述分体式火山口包括底面和围设在底面周边的U型侧边，所述U型侧边的内侧面为斜面。

作为优选实施方式之一，所述延边通过螺丝固定在台阶上。

进一步地，所述圆形开口紧靠U型侧边的内侧面设置。

本实用新型的有益效果：

本实用新型通过将坩埚、甲板、分体式火山口可拆卸连接设置，将分体式火山口与甲板可拆卸连接，在分体式火山口需要维护清理时，可以用最短的时间拆卸后，轻松清理斜面和或火山口附近的金属膜堆积物。

分体式火山口的形状与U型缺口的形状相配合，更加方便操作人员从甲板的边缘处装卸、维护。

U型侧边的内侧面为斜面，可以增加坩埚从火山口镀膜的工作面积，提高镀膜效率。

综上，本实用新型不需要长时间停机去铲除附着的金属、避免敲击时坩埚部的振动，引起定位器的偏移或故障，拆下来的分体式火山口可单独进行维护，时间灵活，从总体上提升了作业效率，降低了安全风险。

附图说明

下面利用附图来对本实用新型进行进一步的说明，但是附图中的实施例不构成对本实用新型的任何限制。

图1是本实用新型一优选实施例的立体分解结构示意图。

附图标记：

1、坩埚本体；2、甲板；3、分体式火山口；4、支撑架；5、坩埚口；6、U型缺口；7、圆形开口；8、延边；9、台阶；31、底面；32、U型侧边；321、内侧面。

具体实施方式