[实用新型]一种具有分体式火山口的坩埚结构有效
| 申请号： | 201920220393.5 | 申请日： | 2019-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN209669337U | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 刘小军;王福平 | 申请（专利权）人： | 爱发科真空技术(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/14 |
| 代理公司： | 11275 北京同恒源知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘宪池<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 火山口 分体式 甲板 坩埚本体 坩埚口 本实用新型 圆形开口 支撑架 可拆卸的 作业效率 坩埚结构 偏移 上端 坩埚 面具 连通 震动 维护 灵活 配合 安全 | ||
【权利要求书】：
1.一种具有分体式火山口的坩埚结构，其特征在于：它包括坩埚本体(1)、甲板(2)、分体式火山口(3)以及支撑架(4)，所述甲板(2)固定在支撑架(4)上，坩埚本体(1)设在甲板(2)下方，坩埚本体(1)上端面具有坩埚口(5)，所述甲板(2)上对应于坩埚口(5)处设有U型缺口(6)，所述分体式火山口(3)的形状与所述U型缺口(6)的形状相配合，并可拆卸的连接到U型缺口(6)，分体式火山口(3)上设有圆形开口(7)，该圆形开口(7)的大小和位置均对应于坩埚口(5)设置并与其连通，所述U型缺口(6)的内沿设有用于支撑和固定分体式火山口(3)外沿的台阶(9)，所述分体式火山口(3)外沿设有与U型缺口(6)的内沿的台阶(9)相配合的延边(8)，所述分体式火山口(3)的横截面为U型。
2.根据权利要求1所述的一种具有分体式火山口的坩埚结构，其特征在于：所述分体式火山口(3)包括底面(31)和围设在底面(31)周边的U型侧边(32)，所述U型侧边(32)的内侧面(321)为斜面。
3.根据权利要求1所述的一种具有分体式火山口的坩埚结构，其特征在于：所述延边(8)通过螺丝固定在台阶(9)上。
4.根据权利要求2所述的一种具有分体式火山口的坩埚结构，其特征在于：所述圆形开口(7)紧靠U型侧边的内侧面(321)设置。
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