[实用新型]一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构

说明书

本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其技术方案要点是，包括壳体、灯板和灯珠，所述灯板上开设有若干个反光碗，若干个所述反光碗呈圆周方向分布，且若干个所述反光碗均匀的分布在六个照射区中，相邻的所述照射区中的所述反光碗位于不同圆周方向上，所述灯珠嵌设在所述反光碗内；所述灯板沿圆周方向滑动连接在所述壳体的内壁；设有六个照射区，且每个反光区中的反光碗都是位于不同的圆周方向上的，这样就可以填补每个照射区径向方向上的反光碗之间的间隙，使光源的照射不留死点，同时配合灯板在一定角度下转动，可以使每个照射区的光线都均匀的照射到产品上，使产品的固化更加均匀有效。

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，特别涉及一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构。

背景技术

光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻，一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序，众所周知，三十多年以前紫外线被成功的推广到商业应用。各胶黏剂生产商针对UV光固化特性，研制出用于粘接、密封、印刷等系列UV产品，并广泛应用于通讯、电子、光学、印刷等众多领域。这些产品在UV光照射下，会固化或硬化，并且与传统产品－UV光固化更加快高效、节能环保。

现有光刻机的UVLED阵列结构是固定式的，由于光源是散射状的，局部的光照强度不一，这样就使得对产品的固化或硬化的效果不够均匀，这就限制了无法进行对产品进行精细加工。

实用新型内容

本实用新型提供一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，旨在解决现有的UVLED阵列结构形成的光源不够均匀的问题。

本实用新型是这样实现的，一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，包括壳体、灯板和灯珠，所述灯板上开设有若干个反光碗，若干个所述反光碗呈圆周方向分布，且若干个所述反光碗均匀的分布在六个照射区中，相邻的所述照射区中的所述反光碗位于不同圆周方向上，所述灯珠嵌设在所述反光碗内；所述灯板沿圆周方向滑动连接在所述壳体的内壁，所述灯板的滑动角度大于六十度。

优选的，所述灯板远离所述反光碗的一侧固定有联动柱，所述壳体上开设有与所述联动柱配合的弧形导槽，所述弧形导槽的弧长为五分之二π。

优选的，所述灯板的外侧一周设有外层聚光弧板。

优选的，所述灯板远离所述反光碗的一侧中间位置处固定有线缆管，所述线缆管转动连接在所述壳体的内壁。

优选的，所述壳体远离所述灯板的一侧固定有马达，所述马达的一侧还设有从动轮，所述从动轮转动连接在所述灯板的外壁，所述马达与所述从动轮传动连接。

优选的，所述马达的输出端连接有主动轮，所述主动轮与所述从动轮之间通过传动带传动连接。

优选的，所述从动轮的外壁设有曲柄，所述曲柄与所述联动柱之间通过连杆传动连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、该种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，设有六个照射区，且每个反光区中的反光碗都是位于不同的圆周方向上的，这样就可以填补每个照射区径向方向上的反光碗之间的间隙，使光源的照射不留死点，同时配合灯板在一定角度下转动，可以使每个照射区的光线都均匀的照射到产品上，使产品的固化更加均匀有效。

2、该种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，在灯板中设有多个反光碗，可以对灯珠发出的光线进行聚集，这样就能大幅的降低光线的散射，增加光源的照射效率，降低损耗。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构图；

图2为本实用新型的反光碗分布示意图；