[实用新型]一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构有效
| 申请号： | 201920206531.4 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN209248250U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 薛荣 | 申请（专利权）人： | 麦佧仕光电科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 丁国勇 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反光碗 照射区 灯板 光刻机 阵列结构 步进式 灯珠 壳体 照射 技术方案要点 本实用新型 沿圆周方向 滑动连接 反光区 固化 光源 内壁 死点 转动 填补 配合 | ||
1.一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，包括壳体(1)、灯板(2)和灯珠(3)，其特征在于：所述灯板(2)上开设有若干个反光碗(22)，若干个所述反光碗(22)呈圆周方向分布，且若干个所述反光碗(22)均匀的分布在六个照射区(201)中，相邻的所述照射区(201)中的所述反光碗(22)位于不同圆周方向上，所述灯珠(3)嵌设在所述反光碗(22)内；所述灯板(2)沿圆周方向滑动连接在所述壳体(1)的内壁，所述灯板(2)的滑动角度大于六十度。
2.根据权利要求1所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述灯板(2)远离所述反光碗(22)的一侧固定有联动柱(24)，所述壳体(1)上开设有与所述联动柱(24)配合的弧形导槽(101)，所述弧形导槽(101)的弧长为五分之二π。
3.根据权利要求1所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述灯板(2)的外侧一周设有外层聚光弧板(23)。
4.根据权利要求1所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述灯板(2)远离所述反光碗(22)的一侧中间位置处固定有线缆管(21)，所述线缆管(21)转动连接在所述壳体(1)的内壁。
5.根据权利要求2所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述壳体(1)远离所述灯板(2)的一侧固定有马达(4)，所述马达(4)的一侧还设有从动轮(42)，所述从动轮(42)转动连接在所述灯板(2)的外壁，所述马达(4)与所述从动轮(42)传动连接。
6.根据权利要求5所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述马达(4)的输出端连接有主动轮(41)，所述主动轮(41)与所述从动轮(42)之间通过传动带(411)传动连接。
7.根据权利要求6所述的一种步进式LDI光刻机的UVLED阵列结构，其特征在于：所述从动轮(42)的外壁设有曲柄(421)，所述曲柄(421)与所述联动柱(24)之间通过连杆(43)传动连接。
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