[实用新型]一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置

说明书

本实用新型公开了一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，属于光学设备领域，其技术方案要点是，一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，包括固定组件、移动光栅组件和固定光栅组件，所述固定组件包括上固定板、下固定板、上散热片和下散热片，所述上固定板位于所述下固定板的上方；通过若干个上散热片和下散热片可将激光散发的热量进行吸收扩散，且在上散热片和下散热片开设有若干个透气孔，使得气流便于流动，提高设备性能，在透光块的一周固定连接有遮光板，在透光块透光时可有效防止激光扩散，降低激光的损耗，在透光块不透光时，可将激光进行有效的隔离，防止出现漏光的现象，进一步提升设备的稳定性及精度。

技术领域

本实用新型涉及光学设备领域，特别涉及一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置。

背景技术

MEMS全称微机电系统，是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统，主要由传感器、动作器和微能源三大部分组成，被广泛应用于激光CTS直写扫描方式的光栅装置内部。

现有的技术存在以下问题：

1、现有的激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置的结构较为封闭，空气无法流通，导致装置在工作时散热效果较差，从而进一步影响装置的性能。

2、现有的激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置在运行或关闭时，会存在漏光的现象，运行时，会导致激光扩散，损耗激光的能量，在关闭时，会出现漏光，降低设备的稳定性。

实用新型内容

本实用新型提供一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，旨在解决现有的散热及漏光的问题。

本实用新型是这样实现的，一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，包括固定组件、移动光栅组件和固定光栅组件，所述固定组件包括上固定板、下固定板、上散热片和下散热片，所述上固定板位于所述下固定板的上方，所述上固定板的底面固定连接有所述上散热片，所述下固定板的顶面固定连接有所述下散热片，所述移动光栅组件包括移动光栅支板、连接块和移动光栅，所述移动光栅支板固定连接于所述上散热片的底端，所述连接块固定连接于所述移动光栅支板的底面，所述移动光栅固定连接于所述连接块的底端，所述固定光栅组件包括固定光栅和透光块，所述固定光栅固定连接于所述下散热片的顶面，所述固定光栅的顶面固定连接有所述透光块。

优选的，所述上固定板和所述下固定板为上下对称设置，所述上散热片开设有若干个透气孔。

优选的，所述上散热片和所述下散热片的数量为若干个，分被均匀分布在所述上固定板和所述下固定板的内侧。

优选的，所述连接块的数量为两个，对称分布在所述移动光栅支板的底面两侧。

优选的，所述移动光栅开设有透光槽，且所述透光槽与所述透光块的尺寸相吻合。

优选的，所述所述移动光栅支板和所述固定光栅的尺寸相互吻合，且述移动光栅支板和所述固定光栅的固定位置相互对应。

优选的，所述若干个所述透光块均匀分布在所述固定光栅的顶面，且若干个所述透光块的一周均固定连接有遮光板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、激光在通过光栅时，会释放热量，通过若干个上散热片和下散热片可将激光散发的热量进行吸收扩散，且在上散热片和下散热片开设有若干个透气孔，可有效增加上散热片和下散热片与空气的接触面积，并使得气流便于流动，加速将上散热片和下散热片吸收的热量进行带离，有利于光栅的冷却，提高设备性能。

2、在透光块的一周固定连接有遮光板，可将透光块的一周进行遮挡，在透光块透光时可有效防止激光扩散，降低激光的损耗，在透光块不透光时，可将激光进行有效的隔离，防止出现漏光的现象，进一步提升设备的稳定性及精度。

附图说明