[实用新型]一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置有效
| 申请号： | 201920206508.5 | 申请日： | 2019-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN209248156U | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 薛荣 | 申请（专利权）人： | 麦佧仕光电科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 成都明涛智创专利代理有限公司 51289 | 代理人： | 丁国勇 |
| 地址： | 200120 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 透光 上散热片 下散热片 直写扫描 固定组件 上固定板 下固定板 技术方案要点 本实用新型 固定光栅 光学设备 激光扩散 设备性能 提升设备 移动光栅 不透光 透气孔 遮光板 漏光 隔离 扩散 散发 流动 吸收 | ||
1.一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，其特征在于：包括固定组件(1)、移动光栅组件(2)和固定光栅组件(3)，所述固定组件(1)包括上固定板(11)、下固定板(12)、上散热片(13)和下散热片(14)，所述上固定板(11)位于所述下固定板(12)的上方，所述上固定板(11)的底面固定连接有所述上散热片(13)，所述下固定板(12)的顶面固定连接有所述下散热片(14)，所述移动光栅组件(2)包括移动光栅支板(21)、连接块(22)和移动光栅(23)，所述移动光栅支板(21)固定连接于所述上散热片(13)的底端，所述连接块(22)固定连接于所述移动光栅支板(21)的底面，所述移动光栅(23)固定连接于所述连接块(22)的底端，所述固定光栅组件(3)包括固定光栅(31)和透光块(32)，所述固定光栅(31)固定连接于所述下散热片(14)的顶面，所述固定光栅(31)的顶面固定连接有所述透光块(32)。
2.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，其特征在于：所述上固定板(11)和所述下固定板(12)为上下对称设置，所述上散热片(13)开设有若干个透气孔(131)。
3.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，其特征在于：所述上散热片(13)和所述下散热片(14)的数量为若干个，分被均匀分布在所述上固定板(11)和所述下固定板(12)的内侧。
4.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，其特征在于：所述连接块(22)的数量为两个，对称分布在所述移动光栅支板(21)的底面两侧。
5.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，其特征在于：所述移动光栅(23)开设有透光槽(231)，且所述透光槽(231)与所述透光块(32)的尺寸相吻合。
6.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，其特征在于：所述移动光栅支板(21)和所述固定光栅(31)的尺寸相互吻合，且述移动光栅支板(21)和所述固定光栅(31)的固定位置相互对应。
7.根据权利要求1所述的一种激光CTS直写扫描方式MEMS光栅装置，其特征在于：若干个所述透光块(32)均匀分布在所述固定光栅(31)的顶面，且若干个所述透光块(32)的一周均固定连接有遮光板(311)。
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