[实用新型]一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统

说明书

本实用新型涉及化工设备领域，具体涉及一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统。本实用新型是通过以下技术方案得以实现的：一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，包含主源瓶，其特征在于：还包含副源瓶，所述主源瓶通过链接管路与所述副源瓶贯通连接，所述主源瓶中设有用于检测所述主源瓶中液体液面高度的液位感应器；还包含用于控制所述连接管路开关状态的主阀门。本实用新型的目的是提供一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，主副瓶分离设计，能动态保证主瓶的液位高度在一个合理的设定值，使得供给扩散的三氯氧磷蒸汽气流稳定，提高扩散品质。

技术领域

本实用新型涉及化工设备领域，具体涉及一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统。

背景技术

光伏技术是一种利用太阳电池半导体材料的光伏效应，将太阳光辐射能直接转换为电能的一种新型发电系统。太阳能电池是光伏行业的一个重要基础部件，其在制作过程中有一道扩散工序。在该工序中，需要P型硅上沉积一层磷原子来形成PN结，往往采用液态源进行扩散。扩散的具体方式为，利用惰性气体，如氮气，通入盛有三氯氧磷的石英源瓶中，携带三氯氧磷蒸汽到扩散炉管内。三氯氧磷与氧气反应生成单质磷，并在高温下趋入硅基体内形成N 型半导体。.

这个过程中存在一定的技术缺陷，在生产过程中，随着液态源(三氯氧磷)逐渐减少，进入瓶中的氮气与液态源的接触面积也减少，产生的源蒸汽(三氯氧磷蒸汽)也随之减少， 因此带入高温扩散炉管内的蒸汽逐渐变少。这样的会造成生产过程中PN结品质发生变化，直至产生不合格产品。

为了确保PN结的品质，现实生产中通常源瓶中液面高度在20mm时就需要更换三氯氧磷，这样不仅增加生产中三氯氧磷的耗损量，增加装卸源瓶工作量，也会因废弃的三氯氧磷不便处理，给环境带来压力。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，主副瓶分离设计，能动态保证主瓶的液位高度在一个合理的设定值，使得供给扩散的三氯氧磷蒸汽气流稳定，提高扩散品质。

本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，包含主源瓶，其特征在于：还包含副源瓶，所述主源瓶通过链接管路与所述副源瓶贯通连接，所述主源瓶中设有用于检测所述主源瓶中液体液面高度的液位感应器；还包含用于控制所述连接管路开关状态的主阀门。

作为本实用新型的优选，所述主源瓶上连接有检测管路，所述液位感应器安装在所述检测管路中。

作为本实用新型的优选，所述主源瓶上连接有进气管和出气管。

作为本实用新型的优选，所述进气管包含用于深入液面以下的延伸部。

作为本实用新型的优选，所述副源瓶还包含用于调节所述副源瓶与所述链接管路开关状态的副阀门。

作为本实用新型的优选，所述副源瓶中设有用于检测所述副源瓶中液位值的副液位感应器。

作为本实用新型的优选，所述副源瓶包含通气孔。

作为本实用新型的优选，所述副源瓶包含灌注口。

作为本实用新型的优选，所述主源瓶为多个，多个所述主源瓶通过链接管路与所述副源瓶连接。

综上所述，本实用新型具有如下有益效果：

1：包含新型的主副源瓶结构，主源瓶增加液位感应功能，在主源瓶液位偏低时可由副源瓶补给。

2：主源瓶可通过调整感应液位、补给时间等保证液位高度在一个合理范围，从而使得供给扩散的三氯氧磷蒸汽气流稳定，提高扩散品质。

3：更换源瓶时只需更换副源瓶，且能将副源瓶的源液全部使用完毕，减少现有情况下20%的剩余浪费，减少源瓶回收和二次装灌时的危险性。