[实用新型]一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统

权利要求书

1.一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，包含主源瓶（1），其特征在于：还包含副源瓶（2），所述主源瓶（1）通过链接管路（3）与所述副源瓶（2）贯通连接，所述主源瓶（1）中设有用于检测所述主源瓶（1）中液体液面高度的液位感应器（5）；还包含用于控制所述链接管路（3）开关状态的主阀门（13）。

2.根据权利要求1所述的一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，其特征在于：所述主源瓶（1）上连接有检测管路（4），所述液位感应器（5）安装在所述检测管路（4）中。

3.根据权利要求1所述的一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，其特征在于：所述主源瓶（1）上连接有进气管（11）和出气管（12）。

4.根据权利要求3所述的一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，其特征在于：所述进气管（11）包含用于深入液面以下的延伸部。

5.根据权利要求1所述的一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，其特征在于：所述副源瓶（2）还包含用于调节所述副源瓶（2）与所述链接管路（3）开关状态的副阀门（23）。

6.根据权利要求5所述的一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，其特征在于：所述副源瓶（2）中设有用于检测所述副源瓶（2）中液位值的副液位感应器。

7.根据权利要求1所述的一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，其特征在于：所述副源瓶（2）包含通气孔（21）。

8.根据权利要求1所述的一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，其特征在于：所述副源瓶（2）包含灌注口（22）。

9.根据权利要求1到8任意一条所述的一种适用于管式扩散工艺中的磷源供给系统，其特征在于：所述主源瓶（1）为多个，多个所述主源瓶（1）通过链接管路（3）与所述副源瓶（2）连接。