[实用新型]一种为晶圆填充玻璃粉的装置

权利要求书

1.一种为晶圆填充玻璃粉的装置，其特征在于：包括用于承托晶圆的承托装置、上料装置（5）以及刮料装置（6），上料装置（5）和刮料装置（6）均设置在承托装置上侧，上料装置（5）的下侧安装有取料部并带动取料部移动，刮料装置（6）的下侧安装有刮刀（43）并带动刮刀（43）移动。

2.根据权利要求1所述的为晶圆填充玻璃粉的装置，其特征在于：所述的取料部包括取料管（29）、吸料杆（30）以及取料气缸（28），吸料杆（30）的一端伸入取料管（29）内，吸料杆（30）与取料管（29）之间滑动且密封连接，取料管（29）安装在上料装置（5）上，取料气缸（28）安装在上料装置（5）上，取料气缸（28）与吸料杆（30）相连并带动其轴向移动。

3.根据权利要求2所述的为晶圆填充玻璃粉的装置，其特征在于：所述的取料管（29）竖向设置，取料管（29）下端的外径小于中部的外径，并在取料管（29）下端形成吸料部（2901）。

4.根据权利要求1或2所述的为晶圆填充玻璃粉的装置，其特征在于：所述的上料装置（5）包括上料平移装置和上料升降装置，上料升降装置安装在上料平移装置上，取料部设置在上料升降装置上。

5.根据权利要求1所述的为晶圆填充玻璃粉的装置，其特征在于：所述的刮刀（43）通过刮刀架（42）安装在刮料装置（6）上，刮刀（43）的上部与刮刀架（42）滑动连接，刮刀（43）与刮刀架（42）之间设置有缓冲弹簧（52）。

6.根据权利要求5所述的为晶圆填充玻璃粉的装置，其特征在于：所述的刮刀（43）上侧固定有刮刀夹板（44），刮刀夹板（44）的两端对称设置有安装销（45），刮刀架（42）的两侧设置有与对应侧的安装销（45）相配合的安装长孔（4201），刮刀夹板（44）的上部滑动设置在刮刀架（42）内，缓冲弹簧（52）设置在刮刀夹板（44）与刮刀架（42）之间。

7.根据权利要求6所述的为晶圆填充玻璃粉的装置，其特征在于：所述的刮刀夹板（44）的两侧均与刮刀架（42）间隔设置。

8.根据权利要求1所述的为晶圆填充玻璃粉的装置，其特征在于：所述的刮刀（43）的一侧设置有V形刀（11），V形刀（11）的开口朝上设置，且V形刀（11）与刮刀（43）垂直设置。

9.根据权利要求1所述的为晶圆填充玻璃粉的装置，其特征在于：所述的承托装置包括上料承托装置（10）和刮料承托装置（12），上料装置（5）设置在上料承托装置（10）的上侧，刮料装置（6）设置在刮料承托装置（12）的下侧。

10.根据权利要求9所述的为晶圆填充玻璃粉的装置，其特征在于：所述的上料承托装置（10）包括托盘（33）以及上料旋转电机（32），托盘（33）水平设置，上料旋转电机（32）与托盘（33）相连并带动其转动，托盘（33）上侧设置有多个吸取槽，吸取槽连接有抽负压装置。