[实用新型]一种单晶炉用供热装置

说明书

本实用新型提供了一种单晶炉用供热装置，包括：铜电极和石墨电极；石墨电极的一端设置有第一凹槽，在第一凹槽背离底部的端部设置有内孔，铜电极的一端设置有与第一凹槽相匹配的第一凸起结构，铜电极的另一端与单晶炉底固定连接；通过第一凸起结构与第一凹槽的契合，铜电极与石墨电极连接。本实用新型通过在第一凹槽的末端设置内孔，由于内孔的存在，第一凸起结构和第一凹槽在对应内孔位置处相互不接触，减少了石墨电极与铜电极的接触面积，降低了铜电极自身散热所带走的热量，降低了热损耗，提高了供热效率。并且该结构易于加工、便于安装，几乎不影响石墨电极的整体强度及稳定性。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅制造技术领域，尤其涉及一种单晶炉用供热装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶硅棒的设备。

目前，单晶炉设备的供热装置包括：铜电极与石墨电极，铜电极和石墨电极之间通过结构上的契合相互紧密连接，单晶炉中在拉制单晶硅棒时，主要的供热方式是通过通有冷却水的铜电极将热量传递给石墨电极，并由石墨电极给发热部供电，由发热部进行供热。

目前的单晶炉中，由于铜电极和石墨电极之间通过结构上的契合相互紧密连接，导致铜电极与石墨电极契合所形成的接触面的面积较大，在供热过程中，易使得单晶炉内的热量通过石墨电极传导至铜电极，并由铜电极将热量散失，造成供热效率下降。

实用新型内容

本实用新型提供一种单晶炉用供热装置，以解决现有技术中铜电极易将热量自行散失，造成供热效率下降等问题。

根据本实用新型的第一方面，提供了一种单晶炉用供热装置，所述单晶炉用供热装置包括：

铜电极和石墨电极；

所述石墨电极的一端设置有第一凹槽，在所述第一凹槽背离底部的端部设置有内孔，所述铜电极的一端设置有与所述第一凹槽相匹配的第一凸起结构，所述铜电极的另一端与所述单晶炉底固定连接；

通过所述第一凸起结构与所述第一凹槽的契合，所述铜电极与所述石墨电极连接。

可选的，所述坩埚轴包括：

所述内孔为台阶孔，且所述台阶孔靠近所述第一凹槽的端部位置处的孔径大于所述台阶孔背离所述第一凹槽的端部位置处的孔径。

可选的，当所述第一凸起结构与所述第一凹槽契合时，所述第一凹槽的底面与所述第一凸起结构的端面之间设置有预设宽度的密封间隙。

可选的，在所述密封间隙中填充有惰性气体。

可选的，所述单晶炉用供热装置还包括：

保温层；

所述保温层中设置有安装通孔，所述铜电极与所述石墨电极连接后设置在所述安装通孔中。

可选的，所述单晶炉用供热装置还包括：

石英护套；

所述石英护套设置在所述保温层与所述铜电极、所述石墨电极之间。

可选的，所述铜电极设置有中空腔室，且所述中空腔室与水冷管接通。

可选的，在所述石墨电极的内部设置有真空腔室。

可选的，所述铜电极的第一凸起结构与所述石墨电极的第一凹槽之间为螺纹连接。

根据本实用新型的第二方面，提供了一种单晶炉用供热装置，所述单晶炉用供热装置包括：

铜电极、内衬和石墨电极；