[实用新型]一种单晶炉用供热装置有效
| 申请号： | 201920200152.4 | 申请日： | 2019-02-13 |
| 公开（公告）号： | CN209854277U | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 任杰;冉瑞应;杨东;金雪 | 申请（专利权）人： | 银川隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11319 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 750000 宁夏回族自治区银*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铜电极 石墨电极 凸起结构 内孔 本实用新型 一端设置 单晶炉 便于安装 供热效率 供热装置 内孔位置 不接触 热损耗 散热 匹配 契合 背离 加工 | ||
1.一种单晶炉用供热装置，所述单晶炉用供热装置设置在单晶炉底，其特征在于，所述单晶炉用供热装置包括：
铜电极和石墨电极；
所述石墨电极的一端设置有第一凹槽，在所述第一凹槽背离底部的端部设置有内孔，所述铜电极的一端设置有与所述第一凹槽相匹配的第一凸起结构，所述铜电极的另一端与所述单晶炉底固定连接；
通过所述第一凸起结构与所述第一凹槽的契合，所述铜电极与所述石墨电极连接。
2.根据权利要求1所述的单晶炉用供热装置，其特征在于，所述内孔为台阶孔，且所述台阶孔靠近所述第一凹槽的端部处的孔径大于所述台阶孔靠近底部处的孔径。
3.根据权利要求1所述的单晶炉用供热装置，其特征在于，当所述第一凸起结构与所述第一凹槽契合时，所述第一凹槽的底面与所述第一凸起结构的端面之间设置有预设宽度的密封间隙。
4.根据权利要求3所述的单晶炉用供热装置，其特征在于，在所述密封间隙中填充有惰性气体。
5.根据权利要求1所述的单晶炉用供热装置，其特征在于，所述单晶炉用供热装置还包括：
保温层；
所述保温层中设置有安装通孔，所述铜电极与所述石墨电极连接后设置在所述安装通孔中。
6.根据权利要求5所述的单晶炉用供热装置，其特征在于，所述单晶炉用供热装置还包括：
石英护套；
所述石英护套设置在所述保温层与所述铜电极、所述石墨电极之间。
7.根据权利要求1所述的单晶炉用供热装置，其特征在于，所述铜电极设置有中空腔室，且所述中空腔室与水冷管接通。
8.根据权利要求1所述的单晶炉用供热装置，其特征在于，在所述石墨电极的内部设置有真空腔室。
9.根据权利要求1所述的单晶炉用供热装置，其特征在于，所述铜电极的第一凸起结构与所述石墨电极的第一凹槽之间为螺纹连接。
10.一种单晶炉用供热装置，所述单晶炉用供热装置设置在单晶炉底，其特征在于，所述单晶炉用供热装置包括：
铜电极、内衬和石墨电极；
所述石墨电极的一端设置有第二凹槽，所述铜电极的一端设置有与所述第二凹槽相匹配的第二凸起结构，所述铜电极的另一端与所述单晶炉底固定连接；
所述内衬设置在所述第二凹槽与所述第二凸起结构之间，所述内衬的材质为碳碳复合材料。
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