[实用新型]蒸镀源及蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀源，其特征在于，包括：蒸镀源盖板，用于支撑所述蒸镀源盖板的支撑体；所述蒸镀源盖板相对于所述支撑体可旋转设置；其中，所述蒸镀源盖板包括盖板本体，所述盖板本体上设有贯穿所述盖板本体的至少一个贯通槽，且所述至少一个贯通槽呈螺旋状排布。

2.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源盖板的旋转中心与所述至少一个贯通槽的螺旋排布中心重叠设置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀源，其特征在于，所述旋转中心与盖板本体中心重叠设置。

4.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述盖板本体上设置有一个贯通槽，所述贯通槽呈螺旋状延伸，或者，所述盖板本体上设置有多个贯通槽，且多个所述贯通槽首尾相连呈螺旋状排布。

5.根据权利要求2所述的蒸镀源，其特征在于，所述至少一个贯通槽包括靠近所述螺旋排布中心的第一起始点，所述第一起始点与所述螺旋排布中心不重叠。

6.根据权利要求5所述的蒸镀源，其特征在于，所述至少一个贯通槽与所述螺旋排布中心之间还包括至少一个衔接槽，所述衔接槽包括靠近所述螺旋排布中心的第二起始点。

7.根据权利要求6所述的蒸镀源，其特征在于，所述衔接槽通过所述第一起始点与相应贯通槽相连通。

8.根据权利要求7所述的蒸镀源，其特征在于，所述衔接槽为弧形。

9.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源盖板的纵截面包括由所述至少一个贯通槽形成的多个贯穿孔，所述贯穿孔靠近所述盖板本体中心的一侧边与远离所述盖板本体中心的一侧边平行，所述贯穿孔的轴线与所述盖板本体的面法线之间的夹角的最大值为锐角，和/或

所述贯穿孔靠近所述盖板本体中心的一侧边平行于所述面法线，所述贯穿孔远离所述盖板本体中心的一侧边与所述面法线夹角最大值为锐角。

10.根据权利要求9所述的蒸镀源，其特征在于，所述夹角自所述盖板本体中心向外逐渐增大，和/或

所述贯穿孔的开口面积自所述盖板本体中心向外逐渐增大。

11.根据权利要求1所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括磁性件，所述磁性件固定于所述盖板本体的内部或者所述蒸镀源盖板的侧面。

12.根据权利要求11所述的蒸镀源，其特征在于，所述磁性件固定于所述蒸镀源盖板的外周面。

13.根据权利要求11所述的蒸镀源，其特征在于，所述蒸镀源还包括设置于所述蒸镀源盖板一侧的驱动机构，所述驱动机构包括用于驱动所述磁性件转动的磁力轮以及用于驱动所述磁力轮转动的电机。

14.一种蒸镀装置，其特征在于，包括如权利要求1-13任一项所述的蒸镀源。