[实用新型]一种圆形靶材搬运装置

说明书

本实用新型涉及一种圆形靶材搬运装置，包括运输车和设在运输车上的升降部分和设在升降部分上的抓取部分。抓取部分包括设在升降部分上的横轴、固定在横轴上的圆环、开在圆环上的通孔、设在通孔内的气缸和安装在运输车上的空压机。升降部分包括设在运输车上的升降架、设在升降架上的丝杆升降机和与升降架滑动连接的横梁。辅助抓取部分包括固定在横轴上的短杆、铰接在短杆上的圆盘、均布在圆盘上的负压管、设在负压管下端的吸盘和设在运输车上的真空泵。本实用新型用于搬运圆形靶材，具有操作简单，使用方便，安全系数高的技术效果。

技术领域

本实用新型涉及靶材运输的技术领域，尤其是涉及一种圆形靶材搬运装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

各种类型的溅射薄膜材料在半导体集成电路(VLSI)、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。20世纪90 年代以来，溅射靶材及溅射技术的同步发展，极大地满足了各种新型电子元器件发展的需求。例如，在半导体集成电路制造过程中，以电阻率较低的铜导体薄膜代替铝膜布线：在平面显示器产业中，各种显示技术(如LCD、PDP、OLED及FED等)的同步发展，有的已经用于电脑及计算机的显示器制造；在信息存储产业中，磁性存储器的存储容量不断增加，新的磁光记录材料不断推陈出新这些都对所需溅射靶材的质量提出了越来越高的要求，需求数量也逐年增加。

圆形靶材是靶材中较为常见的一种靶材，在加工过程和搬运过程中，需要特别注意，因为极小的划伤和磕碰伤也会导致靶材损坏。如何安全的搬运靶材一直是生产厂商致力于解决的技术问题之一。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种安全系数更高的圆形靶材搬运装置。

本实用新型的上述目的是通过以下技术方案得以实现的：

一种圆形靶材搬运装置，包括运输车；还包括设在运输车上的升降部分和设在升降部分上的抓取部分；

所述抓取部分包括设在升降部分上的横轴、固定在横轴上的圆环、开在圆环上的通孔、设在通孔内的气缸和安装在运输车上的空压机；

所述气缸与空压机连接；

所述气缸的活塞杆上铰接有弧板。

通过采用上述技术方案，圆环套到圆形靶材上后，气缸活塞杆上的弧板顶到圆形靶材的侧面上，将其夹住。多点夹持时圆形靶材的受力更加均匀，既能够降低局部变形的程度，又能够避免底面铲起时可能造成的底面划伤。

本实用新型进一步设置为：所述弧板的内侧面上设有弹性层。

通过采用上述技术方案，弹性层作为弧板与圆形靶材之间的过渡，能够有效降低二者在接触过程中的碰撞程度，还能够避免靶材被划伤。

本实用新型进一步设置为：所述通孔的数量为三个以上；

三个以上所述通孔围绕圆环的轴线在圆环上均匀分布。

通过采用上述技术方案，根据三点确定一平面的原理，三个以上的气缸能够将圆形靶材夹紧。

本实用新型进一步设置为：所述升降部分包括设在运输车上的升降架、设在升降架上的丝杆升降机和与升降架滑动连接的横梁；

所述横轴固定在横梁上。