[实用新型]电阻法测试薄膜气体透过率的装置有效

专利信息
申请号: 201920163249.2 申请日: 2019-01-28
公开(公告)号: CN209894654U 公开(公告)日: 2020-01-03
发明(设计)人: 张艺;朱龙基;余桥溪;刘腾;梁绍森;蒋星;杨伯儒;许家瑞;池振国;刘四委 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: G01N15/08 分类号: G01N15/08
代理公司: 44100 广州新诺专利商标事务所有限公司 代理人: 周端仪
地址: 510275 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 腔室 上盖体 下腔体 引线孔 本实用新型 软质密封结构 测量精度高 电阻测量表 气体透过率 背景噪声 测试薄膜 导线穿过 电阻检测 方向设置 活泼金属 加速老化 间接连接 陶瓷材料 一端连接 薄膜夹 电阻法 气密性 上端面 灌封 室壁 体腔 下腔 环绕 玻璃 测试 检测
【权利要求书】:

1.电阻法测试薄膜气体透过率的装置,其特征在于,包括:

下腔体,所述下腔体设置有腔室,腔室的壁上设置有供导线通过的引线孔,导线通过引线孔后,引线孔由玻璃或陶瓷材料气密性灌封;腔室中有电阻检测试样片;导线的一端直接或间接连接设置在电阻检测试样片上的活泼金属,另一端引出装置连接至电阻测量表;

上盖体,所述上盖体对应腔室位置设置有孔;

待检测的薄膜夹设在腔室侧壁的上端面与上盖体之间,下腔体、上盖体通过机械结构紧固;在薄膜边缘,能与腔室中电阻检测试样片上所用的活泼金属反应的分子的浓度在微量级以下;外界气体分子经由孔渗透薄膜后进入腔室内与电阻检测试样片上的活泼金属反应,导致电阻发生变化并被电阻测量表测得。

2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,下腔体上围绕腔室设置有环绕腔室,环绕腔室中能与电阻检测试样片上活泼金属反应的分子的含量在微量级以下;引线孔贯穿设置在腔室与环绕腔室之间;上盖体上对应环绕腔室设置有供导线通过的引出通孔。

3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,下腔体上围绕腔室设置有环绕腔室,环绕腔室中能与电阻检测试样片上活泼金属反应的分子的含量在微量级以下;引线孔贯穿设置在下腔体的侧壁上,并与环绕腔室不相通。

4.根据权利要求2或3所述的装置,其特征在于,环绕腔室内填充有吸收剂。

5.根据权利要求2或3所述的装置,其特征在于,引线孔一端连通腔室,引线孔的另一端设置有防漏端盖。

6.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,导线包括硬质导线及连接在硬质导线两端的软质导线,硬质导线通过定位块卡设在引线孔内,引线孔内环绕硬质导线有玻璃或陶瓷材料气密性灌封体。

7.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,电阻检测试样片包括载体,活泼金属制作在载体上,载体是不导电、表面平整的玻璃片、陶瓷片或塑料片。

8.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,下腔体与上盖体之间设置有软质密封结构,软质密封结构是通过在上盖体朝向下腔体方向、环绕孔的位置制造凹槽,并在凹槽内嵌设弹性密封圈制造的。

9.根据权利要求8所述的装置,其特征在于,软质密封结构还包括薄膜被夹持部位、上盖体与下腔体的盖合面上涂覆的密封剂。

10.根据权利要求8或9所述的装置,其特征在于,凹槽及所述弹性密封圈环绕设置有至少两组。

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