[实用新型]一种矽晶片吹砂装置

权利要求书

1.一种矽晶片吹砂装置，其特征在于：包括基板(1)、立架(2)、第一滑轨(8)、第二滑轨(9)、第一滑块(3)、第二滑块(4)、空气泵(12)、连接管(15)和气嘴(13)，所述立架(2)固定于所述基板(1)的其中一侧边，所述立架(2)的上端设置有两个间隔分布的所述第一滑轨(8)，所述第一滑块(3)滑动连接于所述第一滑轨(8)，所述第一滑块(3)的上部设置有两个间隔分布的所述第二滑轨(9)，所述第二滑块(4)滑动连接于所述第二滑轨(9)，所述空气泵(12)安装于所述第二滑块(4)的上端，所述气嘴(13)安装于所述第二滑块(4)的下端部，所述空气泵(12)通过连接管(15)连通于所述气嘴(13)。

2.如权利要求1所述的一种矽晶片吹砂装置，其特征在于：所述气嘴(13)的下部设置有三个不同方向的喷管(14)。

3.如权利要求2所述的一种矽晶片吹砂装置，其特征在于：所述立架(2)的一端安装有第一气缸(10)，所述第一气缸(10)的输出端固定于所述第一滑块(3)。

4.如权利要求3所述的一种矽晶片吹砂装置，其特征在于：所述第一滑块(3)的其中一端安装有第二气缸(11)，所述第二气缸(11)的输出端固定于所述第二滑块(4)。

5.如权利要求4所述的一种矽晶片吹砂装置，其特征在于：所述基板(1)上安装有旋转电机(5)，所述旋转电机(5)的输出端安装有吸盘组件(6)，所述吸盘组件(6)上设置有多个吸盘(7)。

6.如权利要求5所述的一种矽晶片吹砂装置，其特征在于：所述吸盘组件(6)连通有负压泵，所述第一气缸(10)和第二气缸(11)均连通有气泵。

7.如权利要求6所述的一种矽晶片吹砂装置，其特征在于：所述空气泵(12)、负压泵、气泵和旋转电机(5)均电连接有控制器。