[实用新型]一种矽晶片装载架有效

专利信息
申请号: 201920120713.X 申请日: 2019-01-23
公开(公告)号: CN209461428U 公开(公告)日: 2019-10-01
发明(设计)人: 范群意 申请(专利权)人: 佛山市南海益晶科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L21/677
代理公司: 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 42241 代理人: 张伶俐
地址: 528000 广东省佛山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 架体 丝杆 放置槽 手摇柄 矽晶片 支撑架 滑轨 本实用新型 间隔分布 装载架 滑动连接 螺杆连接 轴承转动 可调节 上端部 杆部
【说明书】:

实用新型公开了一种矽晶片装载架,包括支撑架、第一架体、第二架体、丝杆、滑轨和手摇柄,第一架体固定于支撑架的一侧部,支撑架的上端部设置有两个间隔分布的滑轨,第二架体的滑动连接于滑轨,丝杆的一端通过轴承转动连接于第一架体的下部,丝杆的杆部螺杆连接于第二架体的下部,丝杆的另一端固定于手摇柄,第一架体的上部设置有多个间隔分布的第一放置槽,第二架体的上部设置有多个间隔分布的第二放置槽。本实用新型有益效果:本实用新型设置有支撑架、第一架体、第二架体、丝杆、滑轨和手摇柄,通过手摇柄和丝杆可调节第一架体和第二架体之间间距,进而可放置不同尺寸的矽晶片,第一放置槽和第二放置槽用于放置矽晶片。

技术领域

本实用新型涉及电子元件技术领域,尤其是一种矽晶片装载架。

背景技术

硅片是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件,利用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力,科学技术的发展不断推动着半导体、自动化和计算机等技术的发展,硅片的应用非常广泛,涉及航空航天、工业、农业和国防等多个领域。硅片的制作工艺复杂,对其质量要求较高,其中,晶片清洗是生产晶片的重要步骤之一,是获取高质量晶片的关键,晶片装载架是晶片清洗过程中,用于装载晶片的装置。

目前,现有晶片装载架不便于安装和拆卸,使用不便,且不能放置多种尺寸的晶片。

因此,对于上述问题有必要提出一种矽晶片装载架。

实用新型内容

针对上述现有技术中存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种矽晶片装载架。

一种矽晶片装载架,包括支撑架、第一架体、第二架体、丝杆、滑轨和手摇柄,所述第一架体固定于所述支撑架的一侧部,所述支撑架的上端部设置有两个间隔分布的所述滑轨,所述第二架体的滑动连接于所述滑轨,所述丝杆的一端通过轴承转动连接于所述第一架体的下部,所述丝杆的杆部螺杆连接于所述第二架体的下部,所述丝杆的另一端固定于所述手摇柄,所述第一架体的上部设置有多个间隔分布的第一放置槽,所述第二架体的上部设置有多个间隔分布的第二放置槽。

与现有技术相比,本实用新型有益效果:本实用新型设置有支撑架、第一架体、第二架体、丝杆、滑轨和手摇柄,通过手摇柄和丝杆可调节第一架体和第二架体之间间距,进而可放置不同尺寸的矽晶片,第一放置槽和第二放置槽用于放置矽晶片。

进一步的,每排所述第一放置槽和第二放置槽均在同一纵平面上。

采用进一步的技术方案有益效果:便于矽晶片的放置。

进一步的,所述第一架体和第二架体的截面形状均为L型。

进一步的,所述第一架体和第二架体的下部前后均设置有导向轴,所述导向轴固定于所述第一架体,所述导向轴滑动连接于所述第二架体。

采用进一步的技术方案有益效果:导向轴起到导向作用。

进一步的,所述第一架体的上部前后端均固定有导向筒,所述第二架体上部前后端均固定有与导向筒配合连接的导向杆。

采用进一步的技术方案有益效果:导向杆和导向筒进一步的对第一架体和第二架体起到导向作用。

进一步的,所述手摇柄套装有防滑套,所述防滑套的外部设置有多个环形分布的防滑凸起。

采用进一步的技术方案有益效果:防滑凸起对防滑套起到防滑作用。

进一步的,所述第二架体的下部设置有与滑轨配合滑动连接的滑槽。

采用进一步的技术方案有益效果:第二架体的滑槽便于与滑轨滑动连接。

附图说明

图1是本实用新型提供的矽晶片装载架结构图;

图2是本实用新型的俯视图;

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