[实用新型]一种矽晶片装载架有效
| 申请号: | 201920120713.X | 申请日: | 2019-01-23 |
| 公开(公告)号: | CN209461428U | 公开(公告)日: | 2019-10-01 |
| 发明(设计)人: | 范群意 | 申请(专利权)人: | 佛山市南海益晶科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
| 代理公司: | 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 42241 | 代理人: | 张伶俐 |
| 地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 架体 丝杆 放置槽 手摇柄 矽晶片 支撑架 滑轨 本实用新型 间隔分布 装载架 滑动连接 螺杆连接 轴承转动 可调节 上端部 杆部 | ||
1.一种矽晶片装载架,其特征在于:包括支撑架(1)、第一架体(2)、第二架体(3)、丝杆(7)、滑轨(6)和手摇柄(8),所述第一架体(2)固定于所述支撑架(1)的一侧部,所述支撑架(1)的上端部设置有两个间隔分布的所述滑轨(6),所述第二架体(3)的滑动连接于所述滑轨(6),所述丝杆(7)的一端通过轴承转动连接于所述第一架体(2)的下部,所述丝杆(7)的杆部螺杆连接于所述第二架体(3)的下部,所述丝杆(7)的另一端固定于所述手摇柄(8),所述第一架体(2)的上部设置有多个间隔分布的第一放置槽(10),所述第二架体(3)的上部设置有多个间隔分布的第二放置槽(11。
2.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:每排所述第一放置槽(10)和第二放置槽(11)均在同一纵平面上。
3.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述第一架体(2)和第二架体(3)的截面形状均为L型。
4.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述第一架体(2)和第二架体(3)的下部前后均设置有导向轴(12),所述导向轴(12)固定于所述第一架体(2),所述导向轴(12)滑动连接于所述第二架体(3)。
5.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述第一架体(2)的上部前后端均固定有导向筒(4),所述第二架体(3)上部前后端均固定有与导向筒(4)配合连接的导向杆(5)。
6.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述手摇柄(8)套装有防滑套(9)。
7.如权利要求6所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述防滑套(9)的外部设置有多个环形分布的防滑凸起(13)。
8.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述第二架体(3)的下部设置有与滑轨(6)配合滑动连接的滑槽(14)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





