[实用新型]一种集成电路测试座的探针脚测试装置

说明书

本实用新型一种集成电路测试座的探针脚测试装置，包括主控工作站、总线信号界面板、本地总线解码控制模块、承载组件、交流测试模块、直流电性测量驱动模块、信号开关矩阵以及ZIF信号连接器；承载组件包括测试基板、测试载板以及测试脚座；测试基板上设置有测试点，测试点通过ZIF信号连接器与信号开关矩阵连接；交流测试模块、直流电性测量驱动模块以及信号开关矩阵分别通过本地总线接口与本地总线解码控制模块连接；交流测试模块、直流电性测量驱动模块还分别与所述信号开关矩阵连接。本实用新型通过主控工作站、总线信号界面板、本地总线解码控制模块、承载组件、交流测试模块、信号开关矩阵以及直流电性测量驱动模块的设计，便于人们维修更换。

技术领域

本实用新型涉及集成电路测试领域，具体而言，本实用新型涉及一种集成电路测试座的探针脚测试装置。

背景技术

集成电路的检测环节至关重要，是提高芯片制造水平的关键之一，集成电路生产需经过几十步甚至几百步的工艺，其中任何一步的错误都可能是最后导致器件失效的原因，同时版图设计是否合理、产品是否可靠，都需要通过集成电路的功能及参数测试才能验证。

集成电路测试座是应用在集成电路的成品测试中的必要的介质，而成品测试是指集成电路完成封装后，通过分选机和自动测试机配合使用，对集成电路进行功能和电参数性能测试，保证出厂的每颗集成电路的功能和性能指标能够达到设计规范要求，其测试过程为：分选机将被检测集成电路逐个自动传送至测试工位上集成电路测试座，被检测集成电路的引脚通过集成电路测试座经由测试界面板上的金手指、专用连接线与测试机的功能模块进行连接，测试机对集成电路施加输入信号、采集输出信号，判断集成电路在不同工作条件下功能和性能的有效性。测试结果通过通信接口传送给分选机，分选机据此对被测试集成电路进行标记、分选、收料或编带。

集成电路测试座主要是安装于测试界面板上，将其安装并固定至分选机的测试工位上,在成品测试中不间断的置放被测集成电路于测试工位的测试座上数千次，使得材料产生物理性的变化，如探针脚的弹性疲乏, 接触面的氧化或锡渣及其他金属残留物的附着,造成集成电路测试失败或损坏，必须立即更换新的集成电路测试座。现有技术中为确保探针脚的特性，往往采用设定集成电路测试一个固定数量后就更換新的集成电路测试座，这种更换方式的成本比较高。还有一种是采用更换探针脚的方式，但是缺乏探针脚测试装置，无法准确得知探针脚不良的位置，容易误更换好的探针脚。

实用新型内容

为了寻找更为有效的探针脚性能测试的实现方案，本实用新型实施例提供了一种集成电路测试座的探针脚测试装置，其包括用于按照预设规则生成控制指令的主控工作站、用于将PCI-E信号处理成低速本地总线信号的总线信号界面板、与所述总线信号界面板连接的本地总线解码控制模块、用于承载待测试集成电路测试座的承载组件、用于探针脚的交流性能测试的交流测试模块、用于探针脚的直流电性测量的直流电性测量驱动模块、用于控制测试探针脚的测试信号的信号开关矩阵以及ZIF信号连接器；

所述承载组件包括测试基板、用于承载集成电路测试座的测试载板以及用于承载集成电路测试座的探针脚的测试脚座；所述测试基板上设置有与所述待测试的集成电路测试座的探针脚相对应的测试点，所述测试点通过所述ZIF信号连接器与所述信号开关矩阵连接；

所述交流测试模块、直流电性测量驱动模块以及信号开关矩阵分别通过本地总线接口与所述本地总线解码控制模块连接；所述交流测试模块、直流电性测量驱动模块还分别与所述信号开关矩阵连接。

优选地，所述信号开关矩阵包括与所述本地总线解码控制模块连接的信号开关本地总线接口、开关控制模块、信号总输入输出开关模块、与所述交流测试模块连接的交流信号驱动开关模块以及与所述直流电性测量驱动模块连接的直流电性驱动开关模块；