[实用新型]一种集成电路测试座的探针脚测试装置

权利要求书

1.一种集成电路测试座的探针脚测试装置，其特征在于，所述集成电路测试座的探针脚测试装置包括用于按照预设规则生成控制指令的主控工作站、用于将PCI-E信号处理成低速本地总线信号的总线信号界面板、与所述总线信号界面板连接的本地总线解码控制模块、用于承载待测试集成电路测试座的承载组件、用于探针脚的交流性能测试的交流测试模块、用于探针脚的直流电性测量的直流电性测量驱动模块、用于控制测试探针脚的测试信号的信号开关矩阵以及ZIF信号连接器；

所述承载组件包括测试基板、用于承载集成电路测试座的测试载板以及用于承载集成电路测试座的探针脚的测试脚座；所述测试基板上设置有与所述待测试的集成电路测试座的探针脚相对应的测试点，所述测试点通过所述ZIF信号连接器与所述信号开关矩阵连接；

所述交流测试模块、直流电性测量驱动模块以及信号开关矩阵分别通过本地总线接口与所述本地总线解码控制模块连接；所述交流测试模块、直流电性测量驱动模块还分别与所述信号开关矩阵连接。

2.如权利要求1所述的集成电路测试座的探针脚测试装置，其特征在于：所述信号开关矩阵包括与所述本地总线解码控制模块连接的信号开关本地总线接口、开关控制模块、信号总输入输出开关模块、与所述交流测试模块连接的交流信号驱动开关模块以及与所述直流电性测量驱动模块连接的直流电性驱动开关模块；

所述测试点通过所述ZIF信号连接器与所述信号总输入输出开关模块连接；所述信号开关本地总线接口、信号总输入输出开关模块、交流信号驱动开关模块以及直流电性驱动开关模块分别与所述开关控制模块连接；所述交流信号驱动开关模块、直流电性驱动开关模块分别与所述信号总输入输出开关模块连接。

3.如权利要求2所述的集成电路测试座的探针脚测试装置，其特征在于：所述交流测试模块包括与所述本地总线解码控制模块连接的交流本地总线接口、用于存储交流测试指令或者交流测试激励图样信号的信号格式记忆模块、信号格式化模块、时序信号产生模块、用于向所述信号开关矩阵传送交流测试信号的缓冲驱动模块、用于采集交流测试数据的缓冲采集模块、用于对交流测试数据抓取比对的抓取比对储存模块、用于记录所述测试点的测试值的采集记忆模块、用于记录所述测试点的测试通过或者失败的信号处理模块以及用于控制交流测试的交流控制模块；

所述信号格式记忆模块、交流控制模块以及采集记忆模块分别与所述交流本地总线接口连接；所述时序信号产生模块、信号格式化模块、信号处理模块以及抓取比对储存模块分别与所述交流控制模块连接；所述缓冲驱动模块的一侧与所述信号格式化模块连接，另一侧与所述信号开关矩阵的交流信号驱动开关模块连接；所述缓冲采集模块的一侧与所述抓取比对储存模块连接，另一侧与所述信号开关矩阵的交流信号驱动开关模块连接。

4.如权利要求3所述的集成电路测试座的探针脚测试装置，其特征在于：所述直流电性测量驱动模块包括与所述本地总线解码控制模块连接的直流本地总线接口、与所述直流电性驱动开关模块连接的信号开关模块、数模转换器、放大器、比较器、电流源、与所述信号开关模块连接的采集模块以及与所述采集模块连接的模数转换器，其中，所述放大器包括第一放大输入端、第二放大输入端以及放大输出端，所述比较器包括第一比较输入端、第二比较输入端以及比较输出端，所述放大器的第一放大输入端与所述数模转换器连接，所述放大器的第二放大输入端与所述比较器的比较输出端连接，所述放大器的放大输出端与所述电流源的一侧连接，所述电流源的另一侧与所述信号开关模块连接，所述比较器的第一比较输入端连接在所述电流源和所述放大器的连接处，所述比较器的第二比较输入端连接在所述电流源和所述信号开关模块连接处；所述信号开关模块、数模转换器以及模数转换器分别与所述直流本地总线接口连接。

5.如权利要求4所述的集成电路测试座的探针脚测试装置，其特征在于：所述数模转换器为14位数模转换器；所述模数转换器为14位模数转换器。

6.如权利要求4所述的集成电路测试座的探针脚测试装置，其特征在于：所述采集模块为电压采集模块。