[实用新型]一种矽晶片尺寸的测量装置有效

专利信息
申请号: 201920112634.4 申请日: 2019-01-23
公开(公告)号: CN209820397U 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 陈正青 申请(专利权)人: 佛山市南海益晶科技有限公司
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00
代理公司: 42241 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 张伶俐
地址: 528000 广东省佛山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 控制台 驱动电机 放置板 下端 底座 圆形滑槽 上端 升降板 旋钮 显示屏 测量 本实用新型 输出轴末端 操作误差 测量效率 测量装置 第二滑块 装置操作 矽晶片 灵活
【说明书】:

实用新型公开了一种矽晶片尺寸的测量装置,包括底座,所述底座的一侧固定有控制台,所述控制台的一侧安装有显示屏,所述控制台的一侧设有开关和两个旋钮,所述开关和两个旋钮分别位于显示屏的两侧,所述底座的上端设有凹槽,所述凹槽内设有放置板,所述放置板的下端设有驱动电机,所述驱动电机的输出轴末端固定在放置板的下端,所述驱动电机的下端固定有升降板,所述升降板的上端设有圆形滑槽,所述圆形滑槽安装有两个第二滑块。本装置操作方法简单灵活,降低了工作人员的劳动强度,测量时步骤不再繁杂,不易出现操作误差,使操作更加方便简单,有效的提高了测量准确性和测量效率。

技术领域

本实用新型涉及矽晶片检测技术领域,尤其涉及一种矽晶片尺寸的测量装置。

背景技术

矽晶片又称晶圆片,是由硅锭加工而成的,通过专门的工艺可以在矽晶片上刻蚀出数以百万计的晶体管,这些晶体管比人的头发要细小上百倍,半导体通过控制电流来管理数据,形成各种文字、数字、声音、图象和色彩,它们被广泛用于集成电路,并间接被地球上的每个人使用,这些应用有些是日常应用,如计算机、电信和电视,还有的应用于先进的微波传送、激光转换系统、医疗诊断和治疗设备、防御系统和NASA航天飞机,在生产过程中,需要对矽晶片进行一系列的严格检测,其中就包括对矽晶片的尺寸检测,需要使用到测量装置。

现有的测量装置测量步骤繁杂,测量速度较慢,由于矽晶片结构较为精密,导致测量时工作人员的劳动强度较高,且容易出现操作误差,降低了测量效率,为此,我们提出了一种矽晶片尺寸的测量装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种矽晶片尺寸的测量装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种矽晶片尺寸的测量装置,包括底座,所述底座的一侧固定有控制台,所述控制台的一侧安装有显示屏,所述控制台的一侧设有开关和两个旋钮,所述开关和两个旋钮分别位于显示屏的两侧,所述底座的上端设有凹槽,所述凹槽内设有放置板,所述放置板的下端设有驱动电机,所述驱动电机的输出轴末端固定在放置板的下端,所述驱动电机的下端固定有升降板,所述升降板的上端设有圆形滑槽,所述圆形滑槽安装有两个第二滑块,两个第二滑块的上端均固定在放置板的下端,所述升降板的下端设有调节装置,所述底座的上端两侧均设有第一滑槽,所述第一滑槽内设有滑动装置,所述底座的上端两侧均固定有两个激光测距仪。

优选地,所述调节装置包括设置在凹槽内相对侧壁上的两个第二滑槽,两个第二滑槽内均安装有限位块,两个限位块的相对一侧共同固定有升降板,所述升降板下端设有两个电动伸缩杆,两个电动伸缩杆的上端均固定在升降板的下端,所述电动伸缩杆的下端固定在凹槽的底部。

优选地,所述滑动装置包括滑动设置在两个第一滑槽内的第一滑块,两个第一滑块的上端均固定有移动块,两个移动块的相对一侧均固定有激光对射装置,两个移动块的上端均固定有连接杆,两个连接杆的上端共同固定有移动杆。

优选地,所述底座的下端和控制台的下端共同固定有橡胶垫。

优选地,所述放置板的上端设有多条横向的参考线和纵向的参考线,且多条横向的参考线和纵向的参考线交错设置。

优选地,所述底座的上端两侧均设有刻度线。

优选地,所述移动杆上包覆有橡胶层。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、通过参考线、刻度线、滑动装置和调节装置的配合,使测量时更加便于操作,解决了测量步骤繁杂,测量速度较慢的问题,有效的提升了测量速度,提高了测量效率;

通过放置板、激光对射装置、激光测距仪、显示屏和旋钮的配合,使测量时工作人员的操作更加方便简单,解决了测量时工作人员的劳动强度较高,且容易出现操作误差的问题,有效的提高了测量准确性和测量效率;

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