[实用新型]一种矽晶片尺寸的测量装置

权利要求书

1.一种矽晶片尺寸的测量装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的一侧固定有控制台(11)，所述控制台(11)的一侧安装有显示屏(12)，所述控制台(11)的一侧设有开关(23)和两个旋钮(10)，所述开关(23)和两个旋钮(10)分别位于显示屏(12)的两侧，所述底座(1)的上端设有凹槽(9)，所述凹槽(9)内设有放置板(8)，所述放置板(8)的下端设有驱动电机(14)，所述驱动电机(14)的输出轴末端固定在放置板(8)的下端，所述驱动电机(14)的下端固定有升降板(15)，所述升降板(15)的上端设有圆形滑槽(21)，所述圆形滑槽(21)安装有两个第二滑块(20)，两个第二滑块(20)的上端均固定在放置板(8)的下端，所述升降板(15)的下端设有调节装置，所述底座(1)的上端两侧均设有第一滑槽(6)，所述第一滑槽(6)内设有滑动装置，所述底座(1)的上端两侧均固定有激光测距仪(22)。

2.根据权利要求1所述的一种矽晶片尺寸的测量装置，其特征在于，所述调节装置包括设置在凹槽(9)内相对侧壁上的两个第二滑槽(19)，两个第二滑槽(19)内均安装有限位块(24)，两个限位块(24)的相对一侧共同固定有升降板(15)，所述升降板(15)下端设有两个电动伸缩杆(16)，两个电动伸缩杆(16)的上端均固定在升降板(15)的下端，所述电动伸缩杆(16)的下端固定在凹槽(9)的底部。

3.根据权利要求1所述的一种矽晶片尺寸的测量装置，其特征在于，所述滑动装置包括滑动设置在两个第一滑槽(6)内的第一滑块(2)，两个第一滑块(2)的上端均固定有移动块(3)，两个移动块(3)的相对一侧均固定有激光对射装置(7)，两个移动块(3)的上端均固定有连接杆(4)，两个连接杆(4)的上端共同固定有移动杆(5)。

4.根据权利要求1所述的一种矽晶片尺寸的测量装置，其特征在于，所述底座(1)的下端和控制台(11)的下端共同固定有橡胶垫(13)。

5.根据权利要求1所述的一种矽晶片尺寸的测量装置，其特征在于，所述放置板(8)的上端设有多条横向的参考线(17)和纵向的参考线(17)，且多条横向的参考线(17)和纵向的参考线(17)交错设置。

6.根据权利要求1所述的一种矽晶片尺寸的测量装置，其特征在于，所述底座(1)的上端两侧均设有刻度线(18)。

7.根据权利要求3所述的一种矽晶片尺寸的测量装置，其特征在于，所述移动杆(5)上包覆有橡胶层。