[实用新型]一种矽晶片加工用固定装置有效

专利信息
申请号: 201920112193.8 申请日: 2019-01-23
公开(公告)号: CN209249439U 公开(公告)日: 2019-08-13
发明(设计)人: 陈正青 申请(专利权)人: 佛山市南海益晶科技有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687
代理公司: 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 42241 代理人: 张伶俐
地址: 528000 广东省佛山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 矽晶片 转动连接 固定件 斜杆 操作台 本实用新型 电动伸缩杆 固定装置 夹持固定 安装板 承载台 竖板 加工 大小调节 夹持位置 导向杆 上端 侧壁 下端 贯穿
【说明书】:

实用新型公开了一种矽晶片加工用固定装置,包括操作台,所述操作台的两侧均固定有承载台,所述承载台的上端一侧固定有竖板,所述竖板的一端侧壁上固定有两个固定件,其中一个固定件上转动连接有斜杆,另外一个固定件上转动连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的一端转动连接在斜杆的下端,所述斜杆的一端固定有安装板,所述安装板上贯穿设有两个导向杆。本实用新型不仅解决了不方便对矽晶片进行稳定夹持固定的问题,还解决了不方便根据矽晶片大小调节夹持位置的问题,提高了稳定性,避免矽晶片在加工过程中容易出现脱落的情况发生,提高了加工质量,能对不同大小的矽晶片进行夹持固定,操作简单,使用方便。

技术领域

本实用新型涉及矽晶片加工技术领域,尤其涉及一种矽晶片加工用固定装置。

背景技术

矽晶,即硅晶,硅的结晶体,分为单晶硅和多晶硅,硅在60年代前,我国翻译成“矽”(比如矽肺),只是为了避免与另一元素“硒”同音,换用“硅”字,单晶硅可以用来制作晶圆,晶圆是制造集成电路的基本原料;而高纯多晶硅是电子工业和太阳能光伏产业的基础原料。多晶硅是生产单晶硅的直接原料,是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料,在各行各业中应用广泛。

矽晶片在生产加工时,需要使用固定装置对矽晶片进行夹持固定,好方便加工设备对矽晶片进行加工,但是,现有的固定装置稳定性差,不方便对矽晶片进行稳定夹持,很容易造成矽晶片在生产加工时脱落,影响加工的质量,而且不能根据矽晶片的大小来调节夹持的位置,为此,我们提出了一种矽晶片加工用固定装置来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种矽晶片加工用固定装置。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种矽晶片加工用固定装置,包括操作台,所述操作台的两侧均固定有承载台,所述承载台的上端一侧固定有竖板,所述竖板的一端侧壁上固定有两个固定件,其中一个固定件上转动连接有斜杆,另外一个固定件上转动连接有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的一端转动连接在斜杆的下端,所述斜杆的一端固定有安装板,所述安装板上贯穿设有两个导向杆,两个导向杆的一端共同固定有固定块,所述安装板的一端固定有气缸,所述气缸的活塞杆末端固定有推块,所述推块的一端固定在固定块的一侧,所述固定块的下端两侧均固定有压紧轮,所述操作台的上端设有输送装置,所述操作台和承载台的一侧设有支撑装置,所述支撑装置上设有加工设备。

优选地,所述输送装置包括分别固定在操作台上端两侧的两个固定板,且同一侧的两个固定板为一组,其中一组内的一个固定板的一端侧壁上固定有驱动电机,所述驱动电机的输出轴贯穿该固定板并延伸至该固定板的一侧,所述驱动电机的输出轴末端固定有一个转动杆,且该转动杆的一端转动连接在同一组内的另外一个固定板的一侧,另外一组内的两个固定板之间共同转动连接有另外一个转动杆,且两个转动杆之间套设有传送带。

优选地,所述支撑装置包括分别设置在两个承载台两侧的一个支撑杆,所述支撑杆的下端固定有垫块,四个支撑杆的上端共同固定有承载板,且加工设备安装在承载板上。

优选地,所述压紧轮的一周侧壁上均包覆有橡胶垫。

优选地,所述压紧轮采用不锈钢材质制成。

优选地,两个承载台的一端分别焊接在操作台的两侧。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

1、通过夹持机构、驱动电机和传送带之间的配合,解决了矽晶片在加工时,不方便进行稳定固定的问题,提高了稳定性;

2、通过气缸、电动伸缩杆和斜杆之间的配合,实现了对不同大小的矽晶片进行夹持的功能,解决了不方便调节夹持位置的问题;

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