[实用新型]一种矽晶片加工用固定装置有效
| 申请号: | 201920112193.8 | 申请日: | 2019-01-23 |
| 公开(公告)号: | CN209249439U | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
| 发明(设计)人: | 陈正青 | 申请(专利权)人: | 佛山市南海益晶科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687 |
| 代理公司: | 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 42241 | 代理人: | 张伶俐 |
| 地址: | 528000 广东省佛山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 矽晶片 转动连接 固定件 斜杆 操作台 本实用新型 电动伸缩杆 固定装置 夹持固定 安装板 承载台 竖板 加工 大小调节 夹持位置 导向杆 上端 侧壁 下端 贯穿 | ||
1.一种矽晶片加工用固定装置,包括操作台(9),其特征在于:所述操作台(9)的两侧均固定有承载台(1),所述承载台(1)的上端一侧固定有竖板(2),所述竖板(2)的一端侧壁上固定有两个固定件,其中一个固定件上转动连接有斜杆(4),另外一个固定件上转动连接有电动伸缩杆(3),所述电动伸缩杆(3)的一端转动连接在斜杆(4)的下端,所述斜杆(4)的一端固定有安装板(13),所述安装板(13)上贯穿设有两个导向杆(12),两个导向杆(12)的一端共同固定有固定块(17),所述安装板(13)的一端固定有气缸(5),所述气缸(5)的活塞杆末端固定有推块(14),所述推块(14)的一端固定在固定块(17)的一侧,所述固定块(17)的下端两侧均固定有压紧轮(6),所述操作台(9)的上端设有输送装置,所述操作台(9)和承载台(1)的一侧设有支撑装置,所述支撑装置上设有加工设备(8)。
2.根据权利要求1所述的一种矽晶片加工用固定装置,其特征在于,所述输送装置包括分别固定在操作台(9)上端两侧的两个固定板(18),且同一侧的两个固定板(18)为一组,其中一组内的一个固定板(18)的一端侧壁上固定有驱动电机(19),所述驱动电机(19)的输出轴贯穿该固定板(18)并延伸至该固定板(18)的一侧,所述驱动电机(19)的输出轴末端固定有一个转动杆,且该转动杆的一端转动连接在同一组内的另外一个固定板(18)的一侧,另外一组内的两个固定板(18)之间共同转动连接有另外一个转动杆,且两个转动杆之间套设有传送带(10)。
3.根据权利要求1所述的一种矽晶片加工用固定装置,其特征在于,所述支撑装置包括分别设置在两个承载台(1)两侧的一个支撑杆(11),所述支撑杆(11)的下端固定有垫块(15),四个支撑杆(11)的上端共同固定有承载板(7),且加工设备(8)安装在承载板(7)上。
4.根据权利要求1所述的一种矽晶片加工用固定装置,其特征在于,所述压紧轮(6)的一周侧壁上均包覆有橡胶垫(16)。
5.根据权利要求1所述的一种矽晶片加工用固定装置,其特征在于,所述压紧轮(6)采用不锈钢材质制成。
6.根据权利要求1所述的一种矽晶片加工用固定装置,其特征在于,两个承载台(1)的一端分别焊接在操作台(9)的两侧。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





