[实用新型]一种矽晶片的硬度检测装置有效

专利信息
申请号: 201920112183.4 申请日: 2019-01-23
公开(公告)号: CN209820983U 公开(公告)日: 2019-12-20
发明(设计)人: 陈正青 申请(专利权)人: 佛山市南海益晶科技有限公司
主分类号: G01N3/40 分类号: G01N3/40;G01N3/04
代理公司: 42241 武汉明正专利代理事务所(普通合伙) 代理人: 张伶俐
地址: 528000 广东省佛山*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 矽晶片 上端 滑槽 底座 本实用新型 动力装置 缓冲装置 控制箱 连接板 移动台 滑块 测量结果误差 硬度检测装置 等间距固定 测试需求 缓冲保护 夹持装置 上端固定 硬度测试 移位 侧壁 夹持 螺杆 下端 压头 测试 贯穿 移动
【权利要求书】:

1.一种矽晶片的硬度检测装置,包括底座(7),其特征在于:所述底座(7)的上端固定有动力装置(4),所述动力装置(4)的上端安装有控制箱(1),所述控制箱(1)的下端安装有硬度测试压头(3),所述底座(7)的上端等间距固定有多个缓冲装置,多个缓冲装置的上端共同设有连接板(5),所述连接板(5)的上端设有移动台(13),所述移动台(13)的上端两侧均设有滑槽,所述滑槽内安装有两个滑块(12),所述滑块(12)上设有夹持装置,所述滑槽内的一端侧壁上贯穿设有螺杆(10),所述螺杆(10)的一端固定有转动轮(8),两个转动轮(8)之间通过传动带(9)传动连接,其中一个螺杆(10)的一端转动连接在其中一个滑槽内的另一端侧壁上,另一个螺杆(10)的一端贯穿另一个滑槽内的另一端侧壁并延伸至移动台(13)的一端,且该螺杆(10)的一端固定有转盘,所述螺杆(10)上设有正向螺纹和反向螺纹,其中一个滑块(12)螺纹套接在螺杆(10)上设有正向螺纹的一端,另一个滑块(12)螺纹套接在螺杆(10)上设有反向螺纹的一端,所述移动台(13)的下端设有四个凹槽,所述凹槽内设有移动装置。

2.根据权利要求1所述的一种矽晶片的硬度检测装置,其特征在于,所述移动装置包括设置在凹槽内底部的电动伸缩杆(14),所述凹槽内的相对侧壁上均设有移动槽,所述移动槽内均安装有移动块(16),两个移动块(16)之间共同固定有连接块(17),所述连接块(17)的下端设有轨轮(15),所述连接板(5)的上端设有两个放置槽,同一侧的两个轨轮(15)为一组,同一组的两个轨轮(15)均安装在放置槽内。

3.根据权利要求1所述的一种矽晶片的硬度检测装置,其特征在于,所述缓冲装置包括等间距固定在底座(7)上端的多个固定杆(6),所述固定杆(6)内设有空腔,所述空腔内的底部固定有第二弹簧(23),所述第二弹簧(23)的上端固定有固定块(22),所述固定块(22)的上端固定有推杆(21),所述推杆(21)的一端贯穿空腔内的一端侧壁并延伸至固定杆(6)的上端,所述推杆(21)的上端固定在连接板(5)的下端。

4.根据权利要求1所述的一种矽晶片的硬度检测装置,其特征在于,所述夹持装置包括设置在滑块(12)上端的固定板(11),所述固定板(11)上贯穿设有两个连接杆(19),同一端的两个固定板(11)为一组,同一组的四个连接杆(19)的一端共同固定有移动板(20),所述连接杆(19)上套设有第一弹簧(18),所述第一弹簧(18)的一端固定在移动板(20)的一侧,所述第一弹簧(18)的另一端固定在固定板(11)的一侧,所述连接杆(19)的另一端固定有限位块。

5.根据权利要求2所述的一种矽晶片的硬度检测装置,其特征在于,所述轨轮(15)上包覆有橡胶层。

6.根据权利要求1所述的一种矽晶片的硬度检测装置,其特征在于,所述控制箱(1)的一侧安装有显示屏(2)。

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