[实用新型]升华炉有效

专利信息
申请号: 201920106079.4 申请日: 2019-01-22
公开(公告)号: CN209500854U 公开(公告)日: 2019-10-18
发明(设计)人: 林家禾;施秉彝 申请(专利权)人: 陕西坤同半导体科技有限公司
主分类号: B01D7/00 分类号: B01D7/00
代理公司: 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 代理人: 李有财
地址: 712046 陕西省咸阳市秦*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 升华炉 升降支撑架 真空腔体 等待区 本实用新型 加热模组 移动装置 加热区 冷却区 加热 冷却动作 物料放置 一端连接 增加生产 真空状态 衔接 真空腔 冷却 升降 体内 升华 生产
【说明书】:

实用新型涉及一种升华炉,该升华炉包括:多个真空腔体,用于放置多个物料;等待区,设置于升华炉的一侧,等待区用于将多个物料放置在多个真空腔体内,以真空状态存放所述多个物料;加热区,与等待区衔接,加热区内设有加热模组,加热模组用于加热多个物料;冷却区,与加热区衔接,冷却区用于多个物料的冷却;多个第一升降支撑架,一端与多个真空腔体对应连接,多个第一升降支撑架用于带动多个真空腔体升降;以及移动装置,与多个第一升降支撑架的另一端连接,移动装置通过多个第一升降支撑架与多个真空腔体连接。本实用新型实现一台升华炉同时进行进料、升温、升华及冷却动作,减少操作者实际生产时的等待时间,增加生产效率。

技术领域

本实用新型涉及一种升华炉,特别是涉及一种用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却的升华炉。

背景技术

现有技术的升华炉通常只能对单一炉管依次进行进料、抽真空、升温、升华、冷却、收料、清洁的动作,且操作人员只能等待前一动作完成后才能进行下一动作,由于炉管在抽真空、升温及冷却时用时较多,占整个升华物料时间的10~30%。

因此导致操作者大部分的时间都是在等待炉管的抽真空、升温及冷却,浪费了较多的生产时间,进而导致生产效率低。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种升华炉,以解决上述技术问题,具体的技术方案如下:一种升华炉,用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却,其中升华炉包括:多个真空腔体,用于放置多个物料;等待区,设置于升华炉的一侧,等待区用于将多个物料放置在多个真空腔体内,以真空状态存放多个物料;加热区,与等待区衔接,加热区内设有加热模组,加热模组用于加热多个物料;冷却区,与加热区衔接,冷却区用于多个物料的冷却;多个第一升降支撑架,一端与多个真空腔体对应连接,多个第一升降支撑架用于带动多个真空腔体升降;以及移动装置,与多个第一升降支撑架的另一端连接,移动装置通过多个第一升降支撑架与多个真空腔体连接,移动装置通过多个第一升降支撑架带动多个真空腔体由等待区移动至加热区及由加热区移动至冷却区。

其中,当将多个物料中的其中一个物料放置在其中一个真空腔体内后,一个真空腔体通过移动装置及第一升降支撑架移动到加热区内的加热模组上,加热模组加热一个物料,并且在等待区内将多个物料中的另一个物料放置在其中另一个真空腔体内;当一个物料升温、升华后,一个真空腔体通过移动装置及第一升降支撑架带动移动到冷却区,另一个真空腔体通过移动装置及第一升降支撑架由等待区移动到加热区内的加热模组上,加热模组加热另一个物料。

在一种可能的设计中,升华炉还包括:抽真空装置,与多个真空腔体连接,抽真空装置用于将多个真空腔体抽真空;以及多个真空阀门,对应设置于多个真空腔体与抽真空装置之间,多个真空阀门用于分别控制多个真空腔体的抽真空。

在一种可能的设计中,还包括多个真空软管,抽真空装置通过多个真空软管与多个真空腔体连接,多个真空阀门对应设置于多个真空软管上。

在一种可能的设计中,还包括机械手,设置于等待区内,机械手用于将多个物料放置在多个真空腔体内。

在一种可能的设计中,加热模组为管式加热炉。

在一种可能的设计中,管式加热炉包括:多个第二升降支撑架,一端固定于台面或地面上;固定炉盖,与多个第二升降支撑架的另一端连接,固定炉盖通过多个第二升降支撑架带动而升降;侧翻式炉盖,设置于固定炉盖上方并与固定炉盖的一端连接,侧翻式炉盖可绕着其与固定炉盖的连接处翻转;以及电加热丝,设置于固定炉盖及侧翻式炉盖内,电加热丝用于加热真空腔体。

在一种可能的设计中,移动装置为滑轨,多个第一升降支撑架与滑轨上的滑块连接,多个第一升降支撑架通过滑块带动沿着滑轨移动。

在一种可能的设计中,第一升降支撑架包括支撑部和与支撑部连接的升降部,支撑部用于支撑真空腔体,升降部通过支撑部带动真空腔体升降。

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