[实用新型]升华炉有效
申请号: | 201920106079.4 | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN209500854U | 公开(公告)日: | 2019-10-18 |
发明(设计)人: | 林家禾;施秉彝 | 申请(专利权)人: | 陕西坤同半导体科技有限公司 |
主分类号: | B01D7/00 | 分类号: | B01D7/00 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 李有财 |
地址: | 712046 陕西省咸阳市秦*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 升华炉 升降支撑架 真空腔体 等待区 本实用新型 加热模组 移动装置 加热区 冷却区 加热 冷却动作 物料放置 一端连接 增加生产 真空状态 衔接 真空腔 冷却 升降 体内 升华 生产 | ||
1.一种升华炉,用于连续地对多个物料进行升温、升华及冷却,其特征在于,所述升华炉包括:
多个真空腔体,用于放置所述多个物料;
等待区,设置于所述升华炉的一侧,所述等待区用于将所述多个物料放置在所述多个真空腔体内,以真空状态存放所述多个物料;
加热区,与所述等待区衔接,所述加热区内设有加热模组,所述加热模组用于加热所述多个物料;
冷却区,与所述加热区衔接,所述冷却区用于所述多个物料的冷却;
多个第一升降支撑架,一端与所述多个真空腔体对应连接,所述多个第一升降支撑架用于带动所述多个真空腔体升降;以及
移动装置,与所述多个第一升降支撑架的另一端连接,所述移动装置通过所述多个第一升降支撑架与所述多个真空腔体连接,所述移动装置通过所述多个第一升降支撑架带动所述多个真空腔体由所述等待区移动至所述加热区及由所述加热区移动至所述冷却区;
其中,当将所述多个物料中的其中一个物料放置在所述其中一个真空腔体内后,所述一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架移动到所述加热区内的所述加热模组上,所述加热模组加热所述一个物料,并且在所述等待区内将所述多个物料中的另一个物料放置在所述其中另一个真空腔体内;当所述一个物料升温、升华后,所述一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架带动移动到所述冷却区,所述另一个真空腔体通过所述移动装置及所述第一升降支撑架由所述等待区移动到所述加热区内的所述加热模组上,所述加热模组加热所述另一个物料。
2.根据权利要求1所述的升华炉,其特征在于,所述升华炉还包括:
抽真空装置,与所述多个真空腔体连接,所述抽真空装置用于将所述多个真空腔体抽真空;以及
多个真空阀门,对应设置于所述多个真空腔体与所述抽真空装置之间,所述多个真空阀门用于分別控制所述多个真空腔体的抽真空。
3.根据权利要求2所述的升华炉,其特征在于,还包括多个真空软管,所述抽真空装置通过所述多个真空软管与所述多个真空腔体连接,所述多个真空阀门对应设置于所述多个真空软管上。
4.根据权利要求1所述的升华炉,其特征在于,还包括机械手,设置于所述等待区内,所述机械手用于将所述多个物料放置在所述多个真空腔体内。
5.根据权利要求1所述的升华炉,其特征在于,所述加热模组为管式加热炉。
6.根据权利要求5所述的升华炉,其特征在于,所述管式加热炉包括:
多个第二升降支撑架,一端固定于台面或地面上;
固定炉盖,与所述多个第二升降支撑架的另一端连接,所述固定炉盖通过所述多个第二升降支撑架带动而升降;
侧翻式炉盖,设置于所述固定炉盖上方并与所述固定炉盖的一端连接,所述侧翻式炉盖可绕着其与所述固定炉盖的连接处翻转;以及
电加热丝,设置于所述固定炉盖及所述侧翻式炉盖内,所述电加热丝用于加热所述真空腔体。
7.根据权利要求1所述的升华炉,其特征在于,所述移动装置为滑轨,所述多个第一升降支撑架与所述滑轨上的滑块连接,所述多个第一升降支撑架通过所述滑块带动沿着所述滑轨移动。
8.根据权利要求1所述的升华炉,其特征在于,所述第一升降支撑架包括支撑部和与所述支撑部连接的升降部,所述支撑部用于支撑所述真空腔体,所述升降部通过所述支撑部带动所述真空腔体升降。
9.根据权利要求1所述的升华炉,其特征在于,还包括风扇,设置于所述冷却区,所述风扇用于加速所述物料的冷却。
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