[实用新型]一种PECVD装置真空腔内用汽体分散装置有效
| 申请号： | 201920096195.2 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN209873098U | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 杨福年;郑锡文 | 申请（专利权）人： | 东莞市和域战士纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;C23C16/455 |
| 代理公司： | 44351 深圳市智圈知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 韩绍君 |
| 地址： | 523000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分散片 锥状支撑体 固定底座 伞型 通气 本实用新型 分散装置 中心轴 底部倾斜 方便拆装 高温环境 工件表面 角度设置 连接设置 向上延伸 有效分散 中心通孔 中心轴线 装置真空 上端 防水膜 连接片 通气孔 真空腔 中空的 汽体 腔内 蒸汽 紧凑 维护 | ||
1.一种PECVD装置真空腔内用汽体分散装置，其特征在于，包括与PECVD设备连接的通气固定底座，所述通气固定底座的中心轴向上延伸一段并向外展开形成有伞型锥状支撑体，所述伞型锥状支撑体上端连接有分散座与多个分散片，所述多个分散片均匀分散连接在分散座的外表面，所述通气固定底座上在中心轴外周围设置有多个通气孔，所述分散座内为中空的并通过连接片连接设置在分散座中心的中心通孔座，所述多个分散片的底部倾斜角度设置为分散片与分散座的中心轴线方向呈5-35度。
2.如权利要求1所述的PECVD装置真空腔内用汽体分散装置，其特征在于，所述的伞型锥状支撑体的最大直径大于通气固定底座的直径。
3.如权利要求1所述的PECVD装置真空腔内用汽体分散装置，其特征在于，所述的通气固定底座为圆柱体形，通气固定底座的下部向内凹陷呈槽体结构。
4.如权利要求1所述的PECVD装置真空腔内用汽体分散装置，其特征在于，所述的多个分散片的长度相等，两两之间的间隔距离相近，分散片呈类长方形扇形均匀分布。
5.如权利要求1所述的PECVD装置真空腔内用汽体分散装置，其特征在于，所述的分散座呈中空圆筒形，在真空腔内与汽体管路驳接。
6.如权利要求1所述的PECVD装置真空腔内用汽体分散装置，其特征在于，该汽体分散装置均采用导热优良的导热材料制成。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
