[实用新型]用于基板处理部件的金属陶瓷钎焊接头

权利要求书

1.一种用于基板处理部件的金属陶瓷钎焊接头，其特征在于包括：

陶瓷主体，所述陶瓷主体中有凹槽；

共形层，设置在所述凹槽上；

杆，有一部分设置在所述凹槽内；

第一层，包括设置在所述凹槽内的网状物；

第二层，包括接近所述第一层设置的钎焊材料；

第三层，包括接近所述第二层设置的插入件；和

第四层，包括接近所述第三层设置的钎焊材料。

2.如权利要求1所述的接头，其特征在于进一步包括：接地连接件，耦接到所述网状物。

3.如权利要求1所述的接头，其特征在于所述钎焊材料包括金、钛、钯、银、铜、钨、钴、铬、铁或其组合。

4.如权利要求1所述的接头，其特征在于所述杆包括具有至少一个应力减小特征的主体。

5.如权利要求4所述的接头，其特征在于所述至少一个应力减小特征包括倒角、圆角、通道、凹槽或其组合。

6.如权利要求1所述的接头，其特征在于所述插入件包括：

主体，所述主体中形成有至少一个扩展特征。

7.如权利要求1所述的接头，其特征在于所述共形层包括钨、钛、铬或其组合。

8.一种用于基板处理部件的金属陶瓷钎焊接头，其特征在于包括：

陶瓷主体，所述陶瓷主体中有凹槽；

共形层，设置在所述凹槽上；

杆，有一部分设置在所述凹槽内；

套筒，围绕所述杆的一部分；

第一层，包括设置在所述凹槽内的网状物；

第二层，包括接近所述第一层设置的钎焊材料；

第三层，包括接近所述第二层设置的插入件；和

第四层，包括接近所述第三层设置的钎焊材料。

9.如权利要求8所述的接头，其特征在于进一步包括：接地连接件，耦接到所述网状物。

10.如权利要求8所述的接头，其特征在于所述钎焊材料包括金、钛、钯、银、铜、钨、钴、铬、铁或其组合。

11.如权利要求8所述的接头，其特征在于所述共形层包括钨、钛、铬或其组合。

12.如权利要求11所述的接头，其特征在于所述共形层包括多于一个层。

13.如权利要求8所述的接头，其特征在于所述共形层完全地覆盖所述凹槽的内表面。

14.如权利要求8所述的接头，其特征在于所述杆包括主体，所述主体中设置有至少一个应力减小特征，其中所述至少一个应力减小特征包括倒角、圆角、通道、凹槽或其组合。

15.如权利要求8所述的接头，其特征在于所述插入件包括主体，所述主体中设置有至少一个扩展特征，所述至少一个扩展特征包括通道、孔洞或其组合。