[实用新型]一种单晶硅片生产用保存装置有效
申请号: | 201920067194.5 | 申请日: | 2019-01-16 |
公开(公告)号: | CN209150069U | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 徐卫平 | 申请(专利权)人: | 浙江泰明新能源有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L21/677 |
代理公司: | 北京科家知识产权代理事务所(普通合伙) 11427 | 代理人: | 陈娟 |
地址: | 324300 浙江省衢*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 滑块 支撑杆 铰接 安装箱 本实用新型 保存装置 单晶硅片 连接杆 弹簧 滑槽 避免装置 底部内壁 硅片破碎 滑槽内壁 滑动安装 减震功能 螺杆水平 内部螺纹 水平设置 转动连接 螺杆 拿取 套接 托板 箱壁 开口 生产 移动 | ||
1.一种单晶硅片生产用保存装置,包括顶部设有开口的安装箱(1),其特征在于,所述安装箱(1)的底部内壁沿其长度方向开设有滑槽(2),所述滑槽(2)的内部滑动安装有两个滑块(3),两个所述滑块(3)相互远离的一侧均连接有第一弹簧(4),所述第一弹簧(4)远离滑块(3)的一端与滑槽(2)内壁连接,所述滑块(3)的顶部铰接有支撑杆(5),两个所述支撑杆(5)相互靠近的一侧均铰接有连接杆(6),所述连接杆(6)远离支撑杆(5)的一端铰接有连接块(7),所述连接块(7)的内部螺纹套接有与安装箱(1)的箱壁转动连接的螺杆(8),且螺杆(8)水平设置,所述支撑杆(5)远离滑块(3)的一端铰接有水平设置的托板(9),所述托板(9)的顶部两侧焊接有固定板(10),两个所述固定板(10)相互靠近的一侧焊接有水平设置的限位板(14),两个所述固定板(10)相互远离的一侧均焊接有固定块(11),所述固定块(11)的内部活动套接有沿竖直方向设置的导向杆(12),所述固定块(11)的下方设有套接在导向杆(12)外圈的第二弹簧(13)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产用保存装置,其特征在于,所述安装箱(1)一侧内壁焊接有轴承,且螺杆(8)与轴承的内圈焊接,所述螺杆(8)远离轴承的一端焊接有把手,所述安装箱(1)上正对轴承的一侧箱壁开设有连接孔,且螺杆(8)贯穿连接孔。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产用保存装置,其特征在于,所述限位板(14)的内部阵列开设有多个限位孔(15),所述限位孔(15)的内壁粘接有橡胶垫。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产用保存装置,其特征在于,所述托板(9)的顶部沿其长度方向阵列开设有多个卡接槽,所述卡接槽的内壁粘接有海绵垫。
5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产用保存装置,其特征在于,所述安装箱(1)的底部四角通过螺栓连接有万向轮,所述安装箱(1)的顶部安装有箱盖。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造