[实用新型]一种外定位框环贴底膜装置有效
申请号: | 201920038244.7 | 申请日: | 2019-01-10 |
公开(公告)号: | CN209534157U | 公开(公告)日: | 2019-10-25 |
发明(设计)人: | 孟强;陈志远;聂伟;王坤;魏通;徐学飞;孔凡苑 | 申请(专利权)人: | 江苏汇成光电有限公司 |
主分类号: | B29C63/02 | 分类号: | B29C63/02;H01L21/687 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 董旭东 |
地址: | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 定位平台 定位框 底膜 旋转座 本实用新型 转动辊组 旋转臂 旋转盘 半导体加工领域 均匀间隔分布 弧形切割刀 环形切割 上侧刀刃 同轴设置 自动切割 地连接 机壳体 可移动 可转动 切割槽 切割刀 上表面 传动 平齐 伸入 外周 吸环 压轮 有压 | ||
1.一种外定位框环贴底膜装置,其特征在于,包括机壳体,所述机壳体内设有圆形定位平台,与定位平台相对应的前后两侧均设有转动辊组,两转动辊组之间纵向设有具有粘性的传动底膜,传动底膜的宽度大于定位平台的直径,定位平台上方对应设有可移动的吸环,外定位框环吸附在吸环下方,外定位框环与定位平台的轴线相重合时,外定位框环的内径小于定位平台的外径,外定位框环的外径大于定位平台的外径,外定位框环下侧开设有环形切割槽;所述定位平台下方同轴设置有旋转盘,旋转盘外周均匀间隔分布设有若干旋转臂,旋转臂端部设有旋转座,旋转座位于定位平台外侧,旋转座上可转动地连接有压轮,压轮轴线沿定位平台径向设置,压轮上侧与定位平台相平齐,旋转座上还固定连接有弧形切割刀,切割刀的上侧刀刃可对应伸入切割槽内,压轮的两端面在轴线方向分别位于切割刀的左右两侧。
2.根据权利要求1所述的一种外定位框环贴底膜装置,其特征在于,所述转动辊组包括若干沿纵向间隔分布的转动辊,转动辊轴线横向设置,转动辊的左右两端分别可转动地支撑在对应辊支架上,各转动辊上侧相平齐,传动底膜下表面与转动辊上侧相接触。
3.根据权利要求2所述的一种外定位框环贴底膜装置,其特征在于,所述传动底膜包括源头转动部和平动部,传动底膜源头转动部由外向内卷绕成若干圈,传动底膜源头转动部的内圈套装在放料轴上,放料轴的左右两端可转动地支撑在对应辊支架上,传动底膜源头转动部的外圈边侧与平动部相接。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种外定位框环贴底膜装置,其特征在于,所述吸环上侧沿周向均匀间隔分布设有若干三通接头,三通接头的左右两侧均设有旁通路,三通接头的下侧设有下通路,相邻三通接头的旁通路之间通过连接管相连,位于边侧的三通接头的旁通路与抽真空装置相连,吸环上对应各三通接头的下通路开设有若干通气孔,通气孔与对应三通接头的下通路相连通, 所述吸环的边侧竖直设有移动杆,移动杆上端与驱动机构传动相连。
5.根据权利要求4所述的一种外定位框环贴底膜装置,其特征在于,所述驱动机构包括两根平行设置的固定横向梁,固定横向梁位于吸环的上方,固定横向梁上设有横向导轨和横向齿条,两固定横向梁之间设有横移架,横移架的两端分别设有横移座,横移座通过滑块与对应横向导轨滑动连接,横移座上竖直设有横移电机,横移电机的输出端设有与对应横向齿条相啮合的齿轮;所述横移架上通过纵向导轨滑动连接有纵移座,纵移座上设有纵移电机,横移架上轴向设有纵移齿条,纵移电机的输出端设有与纵移齿条相啮合的齿轮,所述纵移座上活动连接有升降架,移动杆上端与升降架相连。
6.根据权利要求5所述的一种外定位框环贴底膜装置,其特征在于,所述纵移座中部开设有竖直贯穿纵移座的凹槽,凹槽侧壁设有若干升降导轨,升降架竖直插入凹槽内并通过滑块与各升降导轨滑动连接,升降架上竖直设有可转动的丝杠,丝杠的一端与升降电机传动连接,纵移座的凹槽上侧固定设有螺母座,螺母座上固定设有丝杠螺母,丝杠螺母与丝杠相匹配设置。
7.根据权利要求1-3任一项所述的一种外定位框环贴底膜装置,其特征在于,所述旋转盘的转轴经减速器与旋转电机传动连接。
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