[实用新型]基板检查装置

说明书

一种基板检查装置，有助于将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。本实用新型的基板检查装置具有：基座(10)；固定台(20)，该固定台设置于基座；基板支承框架(30)，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件(40)固定于所述固定台；调节部(50)，该调节部设置在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的基板的中心。

技术领域

本实用新型涉及基板检查装置，尤其涉及具有对基板进行支承的基板支承框架的基板检查装置。

背景技术

以往，在对基板进行短路、断路等电检查时，在基板检查装置中常常使用基板支承框架对基板进行支承。

在实际中，有时需要确保由基板支承框架支承的基板上的规定部位与基板检查装置中的其它部件精确对齐。

上述需求在基板较大且规定部位多时越发强烈，也就是说，在基板较大且规定部位多时，即使基板稍微偏离标准状态，基板上的某些规定部分也可能大幅偏离预先设定的标准位置，导致电检查等不能正确进行。

因此，在具有对基板进行支承的基板支承框架的基板检查装置中，如何能以简单的结构确保基板处于标准状态便成了亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种基板检查装置，有助于将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。

为实现上述目的，本实用新型提供一种基板检查装置，其具有：基座；固定台，该固定台设置于基座；基板支承框架，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件固定于所述固定台；调节部，该调节部设置在所述固定台与所述基板支承框架之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的基板的中心。

根据本实用新型的基板检查装置，在固定台与基板支承框架之间，在沿上下方向观察时偏离载置于基板支承框架的基板的中心的位置设置有对基板支承框架的高度进行调节的调节部，因此，当载置于基板支承框架的基板相对于水平面不平行时，通过松开连接件并利用调节部对基板支承框架的高度进行调节(例如将基板支承框架的原本高度较低的部分调高)，有助于将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。

在本实用新型的基板检查装置中，优选在所述固定台与所述基板支承框架之间，在与上下方向垂直的第一方向上，在载置于所述基板支承框架的基板的中心的两侧分别设置有所述调节部。

根据本实用新型的基板检查装置，能更方便地将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态，例如，若基板支承框架的在第一方向上的一侧的部分的位置较低，则可利用调节部将该部位的位置调高，以使由基板支承框架支承的基板成为水平状态，另一方面，若基板支承框架的在第一方向上的另一侧的部分的位置较低，则可利用调节部将该部位的位置调高，以使由基板支承框架支承的基板成为水平状态。

在本实用新型的基板检查装置中，优选所述调节部包括多个厚度不同的垫片。

根据本实用新型的基板检查装置，调节部结构简单，有助于降低制造成本。

在本实用新型的基板检查装置中，优选所述基板支承框架具有楔形部，该楔形部具有相对于上下方向倾斜的朝向下方的倾斜面，所述调节部包括楔形垫片，该楔形垫片具有与所述楔形部的倾斜面对应的相对于上下方向倾斜且朝向上方的倾斜面。

根据本实用新型的基板检查装置，通过使楔形垫片相对于楔形部移动，能方便地实现基板支承框架的设置有调节部的部分在上下方向上的位置的无级调节，因此，容易将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。

在本实用新型的基板检查装置中，优选所述连接件是螺钉或螺栓，所述基板支承框架具有与所述螺钉或螺栓螺合的螺孔，所述固定台具有与所述螺钉或螺栓螺合的螺孔。