[实用新型]基板检查装置

权利要求书

1.一种基板检查装置，其特征在于，具有：

基座(10)；

固定台(20)，该固定台设置于基座；

基板支承框架(30)，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件(40)固定于所述固定台；

调节部(50)，该调节部设置在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，

在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的所述基板的中心。

2.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，在与上下方向垂直的第一方向上，在载置于所述基板支承框架的所述基板的中心的两侧分别设置有所述调节部。

3.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述调节部包括多个厚度不同的垫片。

4.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述基板支承框架具有楔形部，该楔形部具有相对于上下方向倾斜的朝向下方的倾斜面，

所述调节部包括楔形垫片，该楔形垫片具有与所述楔形部的倾斜面对应的相对于上下方向倾斜且朝向上方的倾斜面。

5.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述连接件是螺钉或螺栓，

所述基板支承框架具有与所述螺钉或螺栓螺合的螺孔，

所述固定台具有与所述螺钉或螺栓螺合的螺孔。

6.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述连接件包括：

导柱，该导柱以沿上下方向延伸的方式设置于所述固定台，且具有沿所述导柱的长度方向排列的光滑杆部和螺纹杆部；以及

螺母，

所述基板支承框架具有通孔，所述导柱以使所述光滑杆部位于所述通孔内的方式贯穿所述通孔，

所述螺母与所述螺纹杆部螺合而将所述基板支承框架固定于所述固定台。

7.如权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，

所述基板呈矩形，

所述基板支承框架以所述矩形的一条边与所述第一方向平行的方式支承所述基板。