[实用新型]一种锡膏激光诱导前向转移设备

权利要求书

1.一种锡膏激光诱导前向转移设备，包括激光单元、计算机控制系统(14)，其特征在于：还包括锡膏转移模块；所述计算机控制系统(14)控制激光单元的激光束出射以及锡膏转移模块的运动；

所述锡膏转移模块包括透明基片(8)、夹具(10)、Z轴升降台(11)、接收基片(12)、XYZ轴移动平台(13)；

所述透明基片(8)的下表面为用于容纳锡膏薄膜(9)的凹面；

所述接收基片(12)和Z轴升降台(11)放置在XYZ轴移动平台(13)上，以调整接收基片(12)与激光束光斑的相对工位；

所述夹具(10)安装在Z轴升降台(11)上；透明基片(8)的凹面朝下，并平行置于接收基片(12)的上方，所述夹具(10)夹持透明基片(8)的边缘，由Z轴升降台(11)搭载其在接收基片(12)上方垂直升降运动，以调整透明基片(8)相对于接收基片(12)之间的距离。

2.根据权利要求1所述锡膏激光诱导前向转移设备，其特征在于：所述激光单元包括依次光路连接的激光器(1)、光束整形模块、光路调节模块；

所述激光器(1)、光束整形模块、光路调节模块、锡膏转移模块分别连接计算机控制系统(14)。

3.根据权利要求2所述锡膏激光诱导前向转移设备，其特征在于：所述光束整形模块包括依次光路连接的扩束透镜(2)、光圈(3)、平顶光束整形器(4)、空间光调制器(5)；

所述光路调节模块包括依次光路连接的二维振镜(6)、f-θ透镜(7)。

4.根据权利要求3所述锡膏激光诱导前向转移设备，其特征在于：所述容纳锡膏薄膜(9)的凹面深度为20μm～150μm。

5.根据权利要求4所述锡膏激光诱导前向转移设备，其特征在于：所述接收基片(12)为PCB板。