[实用新型]一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置

说明书

本实用新型公开了一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，涉及真空泵技术，具体涉及一种溅射离子泵的保护技术；其特征在于：包括温度开关组件和连接固定螺母；连接固定螺母焊接于离子泵阴极外壳外表面上，温度开关组件通过连接固定螺母进行连接；温度开关组件由连接螺栓、不锈钢壳、不锈钢壳盖板、温度开关和航空插座构成；温度开关引脚与航空插座之间设置了电连接。本实用新型的优点是：如果离子泵温度高于限定温度，温度开关发出信号，通知离子泵电源立即关断高压输出，以免对离子泵及其电源造成严重的破坏，具有延长加速器溅射离子泵使用寿命、保障离子泵长期工作稳定性、增强安全性的作用。

技术领域

本实用新型涉及真空泵技术，具体涉及一种溅射离子泵的保护技术。

背景技术

溅射离子泵的基本结构包括阴极外壳1、真空法兰9、阳极引线10、阳极组件11、阴极板12、永磁体13，溅射离子泵是超高真空获得系统中使用最多的一种真空泵，特点是清洁无油、极限真空度高、运行过程中无机械振动，其原理是利用高压电场将气体分子电离，带正电的气体离子在电场和磁场的作用下螺旋加速运动撞击在钛板上发生溅射并被吸收。电子加速器的运行离不开真空技术，其核心部件加速管是一个高真空部件，其真空的获得和维护都依赖于离子泵，并且加速管工作稳定需要恒温水系统，需控制加速管温度变化范围±0.5℃。

加速器工作过程中需要对加速管内部的真空状态进行在线监控，控制系统通过真空状态信息来决定加速器的下一步工作状态，以防加速管真空度下降、离子泵或者离子泵电源工作不正常给整个加速器系统造成严重破坏。加速器停机时，也需要离子泵能够持续工作，对加速管的真空状态进行维持，以便加速器下次开机时具有一个良好的真空基础，能够立即投入工作。这都需要离子泵在工作过程中实时监控，并在发现异常时能给上级控制系统发出警报信号。

正常情况下，离子泵的壳体温度与室温基本一致，如果离子泵壳体温度逐渐高于室温，说明其负载加大，真空有泄露，如果温度过高，应立即关断离子泵电源以免对离子泵造成破坏，离子泵的壳体温度可以直接反映离子泵的工作状态。电子加速器系统需要多个离子泵，且抽气速率要求差别很大，例如：维持输出盒真空离子泵的抽气速率比维持电子枪真空离子泵的抽气速率大100倍，只从负载电流上难以判断其是否工作过载。

发明专利“具有次级磁场的离子泵”（专利号ZL 200380100242.8，公开日2008.02.13），发明专利“一种选择性抽气的溅射离子泵”（专利申请号201711386949.X，申请公布日2018.06.01），没有在离子泵上加保护装置；《真空》杂志2000年第2期中“溅射离子泵控制电源的自动保护功能”一文中，只是考虑到其电源上的几种保护，没有在离子泵上加保护装置。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是，提供一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，具有延长加速器溅射离子泵使用寿命、保障离子泵长期工作稳定性、增强安全性的特点。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是，一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：包括温度开关组件2和连接固定螺母3；连接固定螺母3焊接于离子泵阴极外壳1外表面上，温度开关组件2通过连接固定螺母3进行连接，便于拆卸进行溅射离子泵的烘烤；温度开关组件2由连接螺栓4、不锈钢壳5、不锈钢壳盖板6、温度开关7和航空插座8构成；连接螺栓4焊接于不锈钢壳5底板下面，规格与连接固定螺母3匹配；不锈钢壳5设置为容器状，不锈钢壳盖板6形状与不锈钢壳5上口匹配，并以螺栓与不锈钢壳5固定；温度开关7以螺栓固定于不锈钢壳5内部底面上；航空插座8设置在不锈钢壳盖板6上，温度开关7引脚与航空插座8之间设置了电连接；溅射离子泵负载电流过大时，造成阴极外壳温度上升，通过紧密相连的连接固定螺母3、连接螺栓4、不锈钢壳5，传导至温度开关7，上升到温度开关7的动作温度，通过航空插座8送出过温信号，通知离子泵电源立即关断高压输出。

所述不锈钢壳5可设置为包括圆形、方形、多边形，优选圆形。