[实用新型]一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置有效
| 申请号： | 201920001226.1 | 申请日： | 2019-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN209045485U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 陈光荣;陈孝荣;李传南;黄忠义;巩新胜 | 申请（专利权）人： | 山东蓝孚高能物理技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J41/12 | 分类号： | H01J41/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 250101 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 温度开关 溅射离子泵 连接固定螺母 离子泵 温度保护装置 本实用新型 电子加速器 不锈钢壳 航空插座 长期工作稳定性 离子泵电源 离子泵阴极 连接螺栓 使用寿命 盖板 电连接 加速器 真空泵 关断 引脚 焊接 电源 输出 | ||
【权利要求书】：
1.一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：包括温度开关组件（2）和连接固定螺母（3）；连接固定螺母（3）焊接于离子泵阴极外壳（1）外表面上，温度开关组件（2）通过连接固定螺母（3）进行连接；温度开关组件（2）由连接螺栓（4）、不锈钢壳（5）、不锈钢壳盖板（6）、温度开关（7）和航空插座（8）构成；连接螺栓（4）焊接于不锈钢壳（5）底板下面，规格与连接固定螺母（3）匹配；不锈钢壳（5）设置为容器状，不锈钢壳盖板（6）形状与不锈钢壳（5）上口匹配，并以螺栓与不锈钢壳（5）固定；温度开关（7）以螺栓固定于不锈钢壳（5）内部底面上；航空插座（8）设置在不锈钢壳盖板（6）上，温度开关（7）引脚与航空插座（8）之间设置了电连接。
2.如权利要求1所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：所述不锈钢壳（5）可设置为包括圆形、方形、多边形。
3.如权利要求1所述的一种电子加速器溅射离子泵的温度保护装置，其特征在于：所述连接固定螺母（3）、连接螺栓（4）、不锈钢壳（5）、不锈钢壳盖板（6）的材质为不锈钢。
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