[发明专利]悬翼结构具有角部的体声波谐振器、滤波器及电子设备

说明书

本发明公开了一种体声波谐振器，包括：基底；声学镜；底电极；顶电极；压电层，设置在底电极与顶电极之间，其中：顶电极具有形成悬翼结构的边界顶电极，所述悬翼结构具有角部，所述角部具有第一斜面，所述第一斜面以从所述悬翼结构的最外侧边缘朝向内侧倾斜向上的方式延伸，所述第一斜面具有第一下沿与第一上沿，所述最外侧边缘构成所述第一下沿，所述角部的底侧沿谐振器的横向方向向外延伸。本发明还公开了一种具有该谐振器的滤波器及具有该滤波器或谐振器的电子设备。

技术领域

本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种体声波谐振器、一种滤波器，以及一种具有该谐振器或该滤波器的电子设备。

背景技术

电子器件作为电子设备的基本元素，已经被广泛应用，其应用范围包括移动电话、汽车、家电设备等。此外，未来即将改变世界的人工智能、物联网、5G通讯等技术仍然需要依靠电子器件作为基础。

薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator，简称FBAR，又称为体声波谐振器，也称BAW)作为压电器件的重要成员正在通信领域发挥着重要作用，特别是FBAR滤波器在射频滤波器领域市场占有份额越来越大，FBAR具有尺寸小、谐振频率高、品质因数高、功率容量大、滚降效应好等优良特性，其组成的滤波器正在逐步取代传统的声表面波(SAW)滤波器和陶瓷滤波器，在无线通信射频领域发挥巨大作用，其高灵敏度的优势也能应用到生物、物理、医学等传感领域。

但谐振器在并联谐振处的Q值仍需要进一步提高。

发明内容

为提高体声波谐振器在并联谐振处的Q值，提出本发明。

根据本发明的实施例的一个方面，提出了一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

顶电极；

压电层，设置在底电极与顶电极之间，

其中：

顶电极具有悬翼结构，所述悬翼结构具有角部，所述角部具有第一斜面，所述第一斜面以从所述悬翼结构的最外侧边缘朝向内侧倾斜向上的方式延伸，所述第一斜面具有第一下沿与第一上沿，所述最外侧边缘构成所述第一下沿，所述角部的底侧沿谐振器的横向方向向外延伸。

本发明的实施例还涉及一种滤波器，包括上述的体声波谐振器。

本发明的实施例也涉及一种电子设备，包括上述的滤波器或者上述的谐振器。

附图说明

以下描述与附图可以更好地帮助理解本发明所公布的各种实施例中的这些和其他特点、优点，图中相同的附图标记始终表示相同的部件，其中：

图1A为根据本发明的一个示例性实施例的体声波谐振器的剖面示意图，其中谐振器的悬翼结构具有角部；

图1B为图1A中的悬翼结构的放大示意图，其中钝化层的竖直端面的下沿与角部的上沿重合；

图1C示例性示出了谐振器的并联谐振Q值随角部斜面的斜角变化的关系；

图2A为根据本发明的一个示例性实施例的体声波谐振器的剖面示意图，其中谐振器的悬翼结构具有角部，且悬翼结构覆盖有钝化层；

图2B为图2A中的悬翼结构的放大示意图，其中钝化层的端部斜面与角部的斜面共面；

图2C为根据本发明的另一个实施例的体声波谐振器的局部剖面示意图，其中，钝化层的角部延伸到边界顶电极的角部的外侧；

图3A为根据本发明的一个示例性实施例的体声波谐振器的剖面示意图，其中谐振器的悬翼结构具有角部，且悬翼结构覆盖有钝化层；