[发明专利]悬翼结构具有角部的体声波谐振器、滤波器及电子设备

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

基底；

声学镜；

底电极；

顶电极；

压电层，设置在底电极与顶电极之间，

其中：

顶电极具有形成悬翼结构的边界顶电极，所述悬翼结构具有角部，所述角部具有第一斜面，所述第一斜面以从所述悬翼结构的最外侧边缘朝向内侧倾斜向上的方式延伸，所述第一斜面具有第一下沿与第一上沿，所述最外侧边缘构成所述第一下沿，所述角部的底侧沿谐振器的横向方向向外延伸；

在顶电极的非电极连接端，所述第一下沿在水平方向上处于所述压电层的边缘的内侧；

在谐振器的厚度方向上所述悬翼结构的角部的底侧与压电层的顶侧彼此相对且间隔开。

2.根据权利要求1所述的谐振器，其中：

所述第一斜面与所述底侧形成第一夹角，第一夹角在40°-80°的范围内。

3.根据权利要求2所述的谐振器，其中：

所述第一夹角在50°-70°的范围内。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的谐振器，其中：

所述悬翼结构包括所述角部、水平部和倾斜上升部，所述倾斜上升部一端连接于顶电极本体，另一端连接到所述水平部的一端，所述水平部的另一端连接到所述角部，所述角部底侧与所述水平部的底侧共面。

5.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述谐振器还包括钝化层，所述钝化层包括覆盖所述悬翼结构的水平部的边界钝化层。

6.根据权利要求5所述的谐振器，其中：

所述边界钝化层的端面为竖直面，所述竖直面的下沿与所述第一上沿重合或者位于所述第一上沿的内侧或者位于第一上沿的外侧；或者

所述边界钝化层的端面为第二斜面，所述第二斜面的下沿与第一上沿重合或者位于第一上沿的内侧或者位于第一上沿的外侧，且所述第二斜面朝向外侧倾斜向上延伸，第二斜面与水平部的顶侧形成第二夹角。

7.根据权利要求5所述的谐振器，其中：

所述边界钝化层的端面为第二斜面，第二斜面具有第二下沿与第二上沿，所述第二下沿与所述第一上沿重合或者第二下沿位于第一上沿的内侧，或者第二下沿延伸到第一上沿的外侧；且

所述第二斜面朝向内侧倾斜向上延伸，第二斜面与水平部的顶侧形成第二夹角。

8.根据权利要求7所述的谐振器，其中：

第一斜面与第二斜面共面；或者

所述第一斜面与所述底侧形成第一夹角，第二夹角小于第一夹角。

9.根据权利要求6-8中任一项所述的谐振器，其中：

第二夹角小于第一夹角，且第二夹角在10-80°的范围内，所述第一斜面与所述底侧形成所述第一夹角。

10.根据权利要求9所述的谐振器，其中：

第二夹角在15-60°的范围内。

11.根据权利要求4所述的谐振器，其中：

所述谐振器还包括钝化层，所述钝化层包括覆盖所述悬翼结构的倾斜上升部的边界钝化层，且所述边界钝化层的顶面与所述悬翼结构的水平部的顶面相接且共面。

12.根据权利要求1-3中任一项所述的谐振器，其中：

所述悬翼结构包括倾斜上升部，所述倾斜上升部一端连接于顶电极本体，另一端连接到所述角部。

13.根据权利要求12所述的谐振器，其中：

所述谐振器还包括钝化层，所述钝化层包括覆盖所述悬翼结构的倾斜上升部的边界钝化层，所述边界钝化层的端面为第二斜面，所述边界钝化层的顶面与所述角部的底侧平行，且第一上沿构成第一斜面与第二斜面的交线。

14.一种滤波器，包括根据权利要求1-13中任一项所述的体声波谐振器。

15.一种电子设备，包括根据权利要求14所述的滤波器或者根据权利要求1-13中任一项所述的体声波谐振器。