[发明专利]一种用于真空镀膜的车架挂具在审
申请号: | 201911423336.8 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN110904423A | 公开(公告)日: | 2020-03-24 |
发明(设计)人: | 赵鉴 | 申请(专利权)人: | 昆山吉纳尔车料有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 徐典 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 真空镀膜 车架 | ||
一种用于真空镀膜的车架挂具,包括有框架本体以及转轴,框架本体沿转轴轴线方向上设置有第一固定架以及用第二固定架,第一固定架包括有沿垂直于转轴轴线方向的调节杆,调节杆上延伸有插接座,第二固定架包括有平行于调节杆的横杆,横杆上设置有位于车架后叉内的限位件。车架连接管以插接的方式固定,使车架能够以车架连接管为轴线发生转动,而设置在车架后叉内的限位件能够限制车架后叉一侧的移动范围,车架在框架本体发生转动时能够随框架本体的转动发生一定范围的摆动,从而使镀膜材料不规则的撞击在车架上形成均匀的镀膜,通过框架本体的转动以及车架在框架本体发生的摆动使圆形管组成的车架表面镀膜均匀,保证车架的镀膜效果。
技术领域
本发明涉及镀膜技术领域,具体涉及一种用于真空镀膜的车架挂具。
背景技术
真空镀膜是指在真空条件下,采用低电压、大电流的电弧放电技术,利用气体放电使靶材蒸发并使被蒸发物质与气体都发生电离,利用电场的加速作用,使被蒸发物质及其反应产物沉积在工件上,也称为物理气相沉积(PVD)。目前真空镀膜技术主要有蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀这三种方法。
现有技术中真空镀膜设备主要采用圆筒形的腔体,在腔体中间竖立靶材,通电来释放电子。待镀膜产品以挂具的形式固定在电极周围,将待镀膜的面朝向电极。以上结构在腔体抽真空后充惰性气体之后,由电极放电,待镀膜产品朝向电极的一面会接收到电子来完成镀膜的沉积。
如图1所示,车架包括有连接管和后叉,车架通常以圆形管状组合而成,而车架仅以真空镀膜设备的中心线转动难以在圆形管的圆弧面上形成均匀镀膜,而在转动车架后又会造成两次镀膜的厚度不同,对工艺的要求十分的高,现有技术存在改进之处。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明提出了一种用于真空镀膜的车架挂具,通过在框架本体内设置第一固定架及第二固定架以固定车架的两端,使车架能够以车架连接管为轴线在第二固定架上发生摆动并随框架本体上的转轴发生转动,从而使圆形管组成的车架表面镀膜均匀,保证车架的镀膜效果。
为达到上述目的,本发明的技术方案如下:一种用于真空镀膜的车架挂具,包括有框架本体以及设置在所述框架本体上的转轴,所述框架本体沿所述转轴轴线方向上设置有用于卡接车架连接管的第一固定架以及用于卡接车架后叉的第二固定架,所述第一固定架包括有沿垂直于所述转轴轴线方向的调节杆,所述调节杆上延伸有插接于车架连接管内的插接座,所述第二固定架包括有平行于所述调节杆的横杆,所述横杆上设置有位于车架后叉内的限位件。
通过采用上述技术方案,第一固定架通过插接座插接于车架连接管内以限制车架在框架本体上的位置,通过第二固定下上的横杆将车架后叉一侧固定,完成车架在框架本体上的固定,车架连接管以插接的方式固定,使车架能够以车架连接管为轴线发生转动,而设置在车架后叉内的限位件能够限制车架后叉一侧的移动范围,车架在框架本体发生转动时能够随框架本体的转动发生一定范围的摆动,从而使镀膜材料不规则的撞击在车架上形成均匀的镀膜,通过框架本体的转动以及车架在框架本体发生的摆动使圆形管组成的车架表面镀膜均匀,保证车架的镀膜效果。
本发明进一步设置为:所述限位件包括有固定设置在所述横杆上的滑移杆以及滑动设置在所述滑移杆上的滑块,所述滑块上转动设置有限位杆,所述限位杆远离所述滑块的一端滑动设置在所述横杆上,所述滑块上还设置有用于抵接所述滑移杆的抵紧螺栓。
通过采用上述技术方案,限位件通过滑移杆上的滑块能够调节限位杆端部在横杆上的位置,从而调整车架在横杆上的摆动距离,通过调整车架在横杆上的摆动距离来改善车架上的镀膜效果。
本发明进一步设置为:所述滑块上设置有两长度相等的限位杆。
通过采用上述技术方案,使车架后叉一端以滑移杆为中心线对称摆动,保证车架位于滑移杆两侧的镀膜效果相似,提高车架镀膜后的美观度。
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