[发明专利]一种层压模具的制作方法有效
申请号: | 201911421719.1 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111148357B | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 桑建新;胡立伟;储飞翔 | 申请(专利权)人: | 上海冠众光学科技有限公司;苏州印象镭射科技有限公司 |
主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00 |
代理公司: | 上海硕力知识产权代理事务所(普通合伙) 31251 | 代理人: | 董磊 |
地址: | 201400 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 层压 模具 制作方法 | ||
1.一种层压模具的制作方法,具有基材,其特征在于,包括:
S100:在光刻胶板上形成光栅,制得预定图案的光刻胶母版;
S200:通过负相掩膜菲林技术制成具有预定图案的菲林;
S300:将所述菲林粘贴于所述光刻胶母版基底一面,并且将所述预定图案对位套准,所述光刻胶母版位于基材和所述菲林之间;
S400:在所述基材与所述光刻胶母版之间涂覆光辐射固化树脂并排除空气,用平行光对菲林进行辐射固化,剥离所述光刻胶母版后得到基板,所述基板包括所述基材、固化的光辐射固化树脂以及未固化的光辐射固化树脂;
S500:将所述基板表面未固化的光辐射固化树脂去除,得到具有固化的光辐射固化树脂的层压模具。
2.根据权利要求1所述的一种层压模具的制作方法,其特征在于:
所述基材上涂覆有结着剂。
3.根据权利要求1所述的一种层压模具的制作方法,其特征在于:
所述基材至少两面具有所述光辐射固化树脂。
4.根据权利要求1所述的一种层压模具的制作方法,其特征在于:
所述层压模具的所述固化的光辐射固化树脂表面具有镀膜。
5.根据权利要求1所述的一种层压模具的制作方法,其特征在于:
所述S500步骤后还包括步骤S600,对所述固化的光辐射固化树脂进行光照。
6.根据权利要求1所述的一种层压模具的制作方法,其特征在于:
形成光栅的工艺为激光全息制版工艺、像元光刻工艺、点阵光刻制版工艺、单光束直写制版工艺以及光掩膜制版工艺中的任意一种或组合。
7.根据权利要求4所述的一种层压模具的制作方法,其特征在于:
所述镀膜的材质为钛、硅、二氧化硅、金属氧化物、合金中的任意一种。
8.根据权利要求4所述的一种层压模具的制作方法,其特征在于,其中所述镀膜的材质为不锈钢或氧化钛。
9.根据权利要求1所述的一种层压模具的制作方法,其特征在于:
所述基材为金属基材或者耐温基材。
10.根据权利要求9所述的一种层压模具的制作方法,其特征在于:
所述金属基材的材质为铁、不锈钢、铜、铜合金、铝、铝合金、钛、钛合金中任意一种。
11.根据权利要求9所述的一种层压模具的制作方法,其特征在于:
所述耐温基材的材质为PET、PC、环氧树脂、聚酰亚胺树脂中任意一种。
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