[发明专利]一种阵列基板行驱动电路以及显示装置有效
申请号: | 201911413324.7 | 申请日: | 2019-12-31 |
公开(公告)号: | CN111081722B | 公开(公告)日: | 2022-08-16 |
发明(设计)人: | 周雷;陶洪;徐苗;李民 | 申请(专利权)人: | 广州新视界光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L29/423;H01L29/786;H01L21/34 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 510700 广东省广州市高新技术*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阵列 基板行 驱动 电路 以及 显示装置 | ||
本发明公开了一种阵列基板行驱动电路以及显示装置。所述阵列基板行驱动电路中阵列基板行驱动单元包括多个薄膜晶体管,薄膜晶体管包括衬底基板、有源层、栅极绝缘层、栅极、第一绝缘层、源极和漏极;其中,栅极绝缘层位于有源层上且覆盖有源层的中间区,栅极位于栅极绝缘层上,栅极在衬底基板上的垂直投影与沟道区在衬底基板上的垂直投影重合,第一绝缘层位于衬底基板、有源层、栅极绝缘层以及栅极上,源极和漏极位于第一绝缘层上,源极与源极区电连接,漏极与漏极区电连接。本发明实施例提供的技术方案,解决了薄膜晶体管的阈值电压漂移的问题,提升了阵列基板行驱动电路的稳定性,保证了显示装置正常显示。
技术领域
本发明实施例涉及驱动电路技术领域,尤其涉及一种阵列基板行驱动电路以及显示装置。
背景技术
阵列基板行驱动技术实现了行驱动电路在非显示区内衬底基板上的制备,进而简化了显示面板的制备工艺,有效降低了显示面板的生产成本,提高了显示面板的集成度,进而更利于显示面板的窄边框化。
阵列基板行驱动电路包括多个级联的阵列基板行驱动单元,阵列基板行驱动单元包括多个薄膜晶体管。现有技术中薄膜晶体管采用氧化物薄膜晶体管的制备工艺形成,氧化物基板具有迁移率高、面板均匀性好以及稳定性好等优势,但采用用氧化物薄膜晶体管的制备工艺形成的薄膜晶体管存在阈值电压漂移的问题,易导致误开启现象发生,影响阵列基板行驱动电路的性能。
发明内容
本发明提供一种阵列基板行驱动电路以及显示装置,以解决薄膜晶体管的阈值电压漂移问题,提升阵列基板行驱动电路的稳定性,保证显示装置正常显示。
第一方面,本发明实施例提供了一种阵列基板行驱动电路,包括:
多个级联的阵列基板行驱动单元,所述阵列基板行驱动单元用于为对应扫描线提供栅极驱动信号;
所述阵列基板行驱动单元包括多个薄膜晶体管;所述薄膜晶体管包括衬底基板、有源层、栅极绝缘层、栅极、第一绝缘层、源极和漏极;
所述有源层位于所述衬底基板上,所述有源层包括中间区,以及分别设置于所述中间区相对两侧的源极区和漏极区,所述中间区包括沟道区和轻掺杂区,所述轻掺杂区包括分别设置于所述沟道区相对两侧的第一轻掺杂区和第二轻掺杂区,所述第一轻掺杂区靠近所述源极区设置,所述第二轻掺杂区靠近所述漏极区设置;
所述栅极绝缘层位于所述有源层上且覆盖所述中间区;
所述栅极位于所述栅极绝缘层上,所述栅极在所述衬底基板上的垂直投影与所述沟道区在所述衬底基板上的垂直投影重合;
所述第一绝缘层位于所述衬底基板、所述有源层、所述栅极绝缘层以及所述栅极上;
所述源极和所述漏极位于所述第一绝缘层上,所述源极与所述源极区电连接,所述漏极与所述漏极区电连接。
第二方面,本发明实施例还提供了一种显示装置,包括上述第一方面所述的阵列基板行驱动电路。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的