[发明专利]吊顶输送车

说明书

本发明涉及一种吊顶输送车。吊顶输送车(10)沿着配置于顶壁的作为输送轨道的轨道(20)而行进并沿着轨道(20)而对作为输送对象的壳体(50)进行输送，其中，当使得对壳体(50)进行保持的升降体(16)在输送用位置(24)与移载用位置(34)之间升降时，对吊顶输送车(10)的动作进行控制的控制器(15)基于相机(40)拍摄的图像而判定由相机(40)进行拍摄的拍摄范围(42)内有无障碍物。

技术领域

本发明涉及一种吊顶输送车，尤其涉及在沿着输送轨道对作为输送对象的物品进行输送的吊顶输送车中具备能够使物品升降的升降体的技术。

背景技术

以往，作为在无尘室(clean room)等半导体器件制造设备中使用的输送装置之一，提出了日本特许第3371897号公报中记载的、沿着在设备的顶壁配置的输送轨道而进行输送的吊顶输送车(吊顶行进输送装置)。该吊顶输送车具备带升降机的台车，能够使半导体的晶圆传载器在半导体制造装置的装载端口与顶壁侧之间升降。

对于专利文献1所述的吊顶输送车而言，为了在使晶圆传载器升降时调查在其升降路径内是否存在障碍物而设置有光学式的障碍物检测传感器。

该障碍物检测传感器能够向预先设定的检测范围内照射光，并且能够基于其反射光的光量等而调查检测范围内有无障碍物。

发明内容

然而，对于如专利文献1中记载的吊顶输送车所具备的光学式的障碍物检测传感器而言，由于无法利用一个光源一次性地对具有一定程度的广阔度的整个检测范围进行照射，因此，当对障碍物进行检测时，需要反复执行多次如下动作：在某一点处的检测完毕之后切换照射角度而在其他点处进行检测。

为了进行这样的光源的照射角度的切换而需要利用马达等驱动机构产生机械式运动，因此，每当使用时都会因摩擦等而导致装置的机构损耗。因此，对于现有的障碍物检测传感器而言，存在机构的寿命缩短之类的问题。

另外，对于一般的光学式的障碍物检测传感器而言，由于固定设为使得投光间距(照射角度的切换幅度)恒定的角度(只能以恒定的角度而切换角度)，因此，还存在如下问题：无法检测出收纳于该投光间距的中间的较小的障碍物。

而且，现有技术所涉及的光学式的障碍物检测传感器从配置于顶壁侧的障碍物检测传感器朝向在下方隔开距离的装载端口照射光，因此，即使仅仅照射角度略微出现偏差也会导致照射点大幅偏离，从而无法向期望的位置照射光。因此，现有技术中还存在如下问题：必须精密地进行光源的光轴校准，在光轴偏离时需要作业人员攀登至设备的顶壁侧而在高处进行光轴校准的调整作业，从而非常耗费劳力。这样，对于具备现有的光学式的障碍物检测传感器的吊顶输送车而言，具有难以操作的缺点。鉴于以上问题，本发明的目的在于，提供一种吊顶输送车，其具备比较容易操作的、进行有无障碍物的判定的机构。

为了解决上述课题，在本发明所涉及的吊顶输送车的实施方式的一例中，吊顶输送车沿着配置于顶壁的输送轨道而行进并沿着所述输送轨道而对作为输送对象的物品进行输送，其特征在于，具备：行进台车，其沿着所述输送轨道而行进；主体部，其与所述行进台车一起沿着所述输送轨道而移动；升降体，其设置于所述主体部，并能够在输送用位置与比所述输送用位置靠下方的移载用位置之间升降；拍摄装置，其对比所述主体部靠下方的区域进行拍摄；以及控制器，其对所述吊顶输送车的动作进行控制，所述升降体能够执行如下动作：使配置于比所述输送用位置靠下方的物品载置台的所述物品向所述移载用位置下降、且对所述物品进行保持的获取动作；以及使保持于所述输送用位置的所述物品向所述移载用位置下降、且将所述物品配置于所述物品载置台的释放动作，当使得所述升降体执行所述获取动作或者所述释放动作时，所述控制器基于所述拍摄装置拍摄的图像而判定由所述拍摄装置进行拍摄的拍摄范围内有无障碍物。

另外，优选地，当使得所述升降体执行所述获取动作或者所述释放动作时，所述控制器从所述拍摄装置拍摄的图像中搜索预先规定的多个标识体，并以所述多个标识体的位置为基准而设定对有无障碍物进行判定的监视范围。