[发明专利]含氟树脂化合物、含其的光刻胶组合物及其合成方法

权利要求书

1.一种含氟树脂化合物，其特征在于，所述含氟树脂化合物至少包含衍生自含氟丙烯酸酯的第一重复单元、衍生自羟基苯乙烯的第二重复单元、以及衍生自不含氟丙烯酸酯的第三重复单元；

所述第一重复单元具有结构通式(a1)表示的结构：

，

其中，R₁表示氢原子或C₁-C₅烷基；R₂表示C₁-C₁₀脂肪族基团、C₁-C₁₀脂环族基团或者C₁-C₁₀杂环基团，且以构成所述树脂化合物的所有重复单元的总和为基准计，所述第一重复单元的量为1摩尔％至15摩尔％；

所述第二重复单元具有结构通式(a2)表示的结构：

，

其中，R₃表示氢原子或者C₁-C₅烷基，且以构成所述树脂化合物的所有重复单元的总和为基准计，所述第二重复单元的量为30摩尔％至80摩尔％；

其中所述第三重复单元包括能在酸性条件下脱保护使所述树脂化合物极性发生改变的第一功能重复单元以及能提高所述树脂化合物耐刻蚀性同时降低深紫外吸收的第二功能重复单元；

以构成所述树脂化合物的所有重复单元的总和为基准计，所述第三重复单元的量为5摩尔％至69摩尔％；

所述第三重复单元的第一功能重复单元由下述中的一种或几种聚合而成：

；

所述第三重复单元的第二功能重复单元由下述中的一种或几种聚合而成：

；

t、p分别表示相应的重复单元占树脂化合物的摩尔比。

2.如权利要求1所述的含氟树脂化合物，其特征在于，以构成所述树脂化合物的所有重复单元的总和为基准计，所述第二重复单元的量为30摩尔％至70摩尔％；

以构成所述树脂化合物的所有重复单元的总和为基准计，所述第三重复单元的量为20摩尔％至60摩尔％；

和/或，以构成所述树脂化合物的所有重复单元的总和为基准计，所述第一功能重复单元的量为5摩尔至50摩尔％，且所述第二功能重复单元的量为0摩尔至35摩尔％。

3.如权利要求2所述的含氟树脂化合物，其特征在于，以构成所述树脂化合物的所有重复单元的总和为基准计，所述第二重复单元的量为40摩尔％至70摩尔％；

以构成所述树脂化合物的所有重复单元的总和为基准计，所述第三重复单元的量为25摩尔％至50摩尔％；

和/或，以构成所述树脂化合物的所有重复单元的总和为基准计，所述第一功能重复单元的量为5摩尔至50摩尔％，且所述第二功能重复单元的量为0摩尔至35摩尔％。

4.如权利要求1所述的含氟树脂化合物，其特征在于，所述树脂化合物的重均分子量为20,000~80,000。

5.如权利要求4所述的含氟树脂化合物，其特征在于，所述第一重复单元由下述结构中的一种或多种聚合而成：

。

6.一种如权利要求1-5中任一项所述的含氟树脂化合物的合成方法，其特征在于，所述方法包括：

S1：在惰性气氛下，在有机溶剂中混合对羟基苯乙烯类单体、不含氟丙烯酸酯类单体以及含氟丙烯酸酯类单体，得到第一混合物；

S2：在存在引发剂的情况下，使所述第一混合物在适于其聚合的反应温度下进行聚合，得到所述树脂化合物。

7.一种光刻胶组合物，其特征在于，所述光刻胶组合物包含以下组分：a)如权利要求1-5中任一项所述的树脂化合物；b)光致产酸剂；c)含氮碱性化合物；以及d)有机溶剂。

8.如权利要求7所述的光刻胶组合物，其特征在于，所述光致产酸剂包括下述结构中的一种或几种：

和/或，所述含氮碱性化合物包括下述结构中的一种或几种：

；

所述有机溶剂包括下述中的一种或几种：丙二醇单醋酸酯、丙二醇单乙醚、丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)、丙二醇单甲醚(PGME)、二缩乙二醇甲醚、二缩乙二醇乙醚、二缩乙二醇甲乙醚、醋酸丁酯、醋酸新戊酯、乳酸乙酯、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环戊酮、环己酮、双丙酮醇、γ-丁内酯。