[发明专利]一种光电探测器有效
| 申请号: | 201911400911.2 | 申请日: | 2019-12-30 |
| 公开(公告)号: | CN111128897B | 公开(公告)日: | 2021-11-05 |
| 发明(设计)人: | 崔延光 | 申请(专利权)人: | 江苏大摩半导体科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/98 | 分类号: | H01L21/98;H01L25/16;H01L21/56;H01L23/31 |
| 代理公司: | 天津创信方达专利代理事务所(普通合伙) 12247 | 代理人: | 段小丽 |
| 地址: | 210000 江苏省南京市江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 光电 探测器 | ||
1.一种光电探测器的制造方法,其包括以下步骤:
(1)提供具有粘合层的载板,在所述粘合层上形成图案化的第一树脂层,所述第一树脂层中具有多个开口;
(2)将多个光电发射芯片与多个光电接收芯片依次设置于所述第一树脂层上,所述光电发射芯片与光电接收芯片间隔排列;
(3)形成挡光围墙,所述围墙分别围绕所述光电发射芯片与光电接受芯片;
(4)在所述光电发射芯片与光电接受芯片的上表面分别固定光纤块,所述光纤块与所述光电发射芯片与光电接受芯片的尺寸相同,且在所述光纤块发热边缘区域具有多个凹口,所述多个凹口露出所述光电发射芯片与光电接收芯片的电极;
(5)在所述多个凹口中点胶填充导电油墨,所述导电油墨流动填充所述多个开口,然后经过固化形成导电连接部,所述导电连接部将所述电极引出至所述多个开口位置以形成外部连接端子;
(6)在所述围墙内填充第二树脂层,所述第二树脂层覆盖所述导电油墨、所述光纤块、所述光电发射芯片与光电接受芯片。
2.根据权利要求1所述的光电探测器的制造方法,其特征在于:还包括步骤(8),去除所述载板和粘合层。
3.根据权利要求2所述的光电探测器的制造方法,其特征在于:还包括步骤(9),切割以实现单体化,得到最终具有单个光电发射芯片和单个光电接收芯片的光电探测器;其中,所述切割沿着所述围墙的中心进行。
4.根据权利要求1所述的光电探测器的制造方法,其特征在于:在步骤(6)中,填充第二树脂层具体包括在所述光电发射芯片上沉积第二树脂层,该第二树脂层形成为凸起的凸面镜;在所述光电接收芯片上沉积第二树脂层,该第二树脂层形成为平面结构。
5.根据权利要求1所述的光电探测器的制造方法,其特征在于:在步骤(5)中,填充导电油墨具体包括,在所述围墙的空腔内插入隔板,所述隔板与所述围墙、所述芯片围成多个开窗,通过点胶工艺在所述开窗中形成导电油墨,并经固化形成导电连接部,然后去除所述隔板。
6.一种光电探测器,其通过权利要求1-5中任一项所述光电探测器的制造方法制备得到,具体包括:
第一树脂层,所述第一树脂层具有多个开口;
光电发射芯片和光电接收芯片,设置于所述第一树脂层上;
挡光围墙,分别环绕所述光电发射芯片和光电接收芯片;
光纤块,固定于所述光电发射芯片与光电接受芯片上,且所述光纤块与所述光电发射芯片与光电接受芯片的尺寸相同,且在所述光纤块发热边缘区域具有多个凹口,所述多个凹口露出所述光电发射芯片与光电接收芯片的电极;
固化的导电油墨,填充于所述凹口和所述围墙中,所述导电油墨将所述电极引出至所述多个开口位置以形成外部连接端子;
第二树脂层,填充满所述围墙的空腔,且覆盖所述导电油墨、所述光纤块、所述光电发射芯片与光电接受芯片。
7.根据权利要求6所述的光电探测器,其特征在于:在所述第一树脂层中还具有多个凹口,所述多个凹口被所述第二树脂层填充。
8.根据权利要求6所述的光电探测器,其特征在于:所述光纤块的高度与所述围墙高度相同。
9.根据权利要求6所述的光电探测器,其特征在于:所述第二树脂层在所述发射芯片上形成为凸起的凸面镜。
10.根据权利要求6所述的光电探测器,其特征在于:所述围墙为混合有染料的不透光树脂。
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