[发明专利]柔性基板支撑用支撑基板的制造方法在审
| 申请号: | 201911392445.8 | 申请日: | 2019-12-30 |
| 公开(公告)号: | CN112309891A | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
| 发明(设计)人: | 闵润基;金孝锡;朴暻完 | 申请(专利权)人: | 圆益IPS股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11384 | 代理人: | 郑青松 |
| 地址: | 韩国京畿道平*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 柔性 支撑 制造 方法 | ||
1.一种柔性基板支撑用支撑基板的制造方法,作为在柔细显示器制造工艺中临时粘合并固定柔性基板的支撑基板的制造方法,包括:
(a)步骤,提供一面具有正电荷或者负电荷的支撑基板;
(b)步骤,对所述支撑基板的一面上喷射具有与所述支撑基板的一面相反的电荷的粘合诱导溶液,以形成第一层;
(c)步骤,对所述第一层施加物理能来移动所述粘合诱导溶液内的分子,以在所述支撑基板上展开所述粘合诱导溶液;
(d)步骤,对所述第一层上部喷射具有与所述第一层相反的电荷的粘合溶液,以形成第二层;
(e)步骤,通过对所述第二层施加物理能来移动所述粘合溶液中的分子,以在第一层上展开所述粘合溶液;
其中,所述(c)步骤和所述(e)步骤中施加的所述物理能为通过气体喷射工具喷射气体。
2.根据权利要求1所述的柔性基板支撑用支撑基板的制造方法,其特征在于,
在所述第二层上还多次交替形成第一层及第二层。
3.根据权利要求1所述的柔性基板支撑用支撑基板的制造方法,其特征在于,
在所述(c)步骤中,所述支撑基板具有的电荷和所述第一层具有的电荷的结合量增加;
在所述(e)步骤中,所述第一层具有的电荷和所述第二层具有的电荷的结合量增加。
4.根据权利要求1所述的柔性基板支撑用支撑基板的制造方法,其特征在于,
在所述(c)步骤中,若施加所述物理能,则所述粘合诱导溶液中的分子移动在所述支撑基板的整个一面展开并且通过静电吸引力结合,未结合于所述支撑基板一面粘合诱导溶液以气体喷射方向被推到外部;
若在所述(e)步骤中施加所述物理能,则所述粘合溶液中的分子移动在以所述第一层的整个上部面展开并且通过静电吸引力结合,而未结合于所述第一层整个上部面的粘合溶液以气体喷射方向被推到外部。
5.根据权利要求1所述的柔性基板支撑用支撑基板的制造方法,其特征在于,
所述气体喷射工具在水平面上以一个方向延伸形成;
所述气体喷射工具以从所述支撑基板的至少一端到另一端的方向移动的同时执行气体喷射。
6.根据权利要求1所述的柔性基板支撑用支撑基板的制造方法,其特征在于,
所述气体喷射工具固定配置在水平面上以一个方向延伸形成;
为使所述气体喷射工具至少从所述支撑基板的一侧端到另一侧端执行气体喷射,所述支撑基板在水平面上移动。
7.根据权利要求1所述的柔性基板支撑用支撑基板的制造方法,其特征在于,
所述气体喷射工具包括:
气体喷射外壳;
气体储存部,配置在所述气体喷射外壳内,储存从外部接收的气体;
喷射部,一端连通于所述气体储存部,而另一端连通到所述气体喷射外壳的外部,从另一端喷射气体。
8.根据权利要求1所述的柔性基板支撑用支撑基板的制造方法,其特征在于,
所述气体喷射工具包括:
气体喷射外壳;
第一气体储存部,配置在所述气体喷射外壳内,接收从外部供应的气体;
第二气体储存部,储存从所述第一气体储存部传递的气体;
连通部,一端连通于所述第一气体储存部,另一端连通到所述第二气体储存部;及
喷射部,一端连通于所述第二气体储存部,另一端连通到所述气体喷射外壳的外部,从另一端喷射气体。
9.根据权利要求7或8所述的柔性基板支撑用支撑基板的制造方法,其特征在于,
所述喷射部倾斜于所述支撑基板表面形成,或者以z轴方向形成。
10.根据权利要求1所述的柔性基板支撑用支撑基板的制造方法,其特征在于,
从所述气体喷射工具喷射的气体的温度为0℃至80℃。
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