[发明专利]阀控制装置以及真空阀

说明书

本发明提供一种能够缩短调压时间的阀控制装置以及真空阀。阀控制装置(2)具备：关闭控制部(21)，基于目标压力(Ps)生成利用关闭控制的开度控制信号即开度设定输出(Δθ)；以及开度增量产生部(22)，与真空腔室(3)的压力(Pr)达到目标压力(Ps)的时机t1同步地，基于真空阀的开度(θr)、压力(Pr)、目标压力(Ps)以及开度(θ)与实效排气速度(Se)的相关关系Se(θ)、Gp(θ)生成开度增量(Δθblow)，并将所述开度增量(Δθblow)与开度控制信号(Δθ)相加。

技术领域

本发明涉及一种阀控制装置以及真空阀。

背景技术

以往，已知有一种真空阀，自动控制阀体开度来进行压力调整，通过关闭控制使腔室压力朝目标压力收敛(例如，参照专利文献1)。在关闭控制中，基于设定压力与检测出的腔室压力的压力偏差生成设定开度信号，并驱动阀体马达以使阀体开度成为所述设定开度值，由此以使压力偏差变成零的方式进行反馈控制。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2018-112933号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

在现有的关闭控制中，基于检测出的腔室压力与目标压力的差值即压力偏差进行反馈控制。因此，如果在腔室压力朝目标压力收敛的状态下变更目标压力，则压力偏差急剧增加，因此，例如在目标压力向变大的方向变更的情况下，有时会发生大的过冲(overshoot)，从而调压时间变长。

[解决问题的技术手段]

本发明的优选形态的阀控制装置通过关闭控制对设置在真空腔室与真空泵之间的真空阀进行开度控制，将所述真空腔室的腔室压力调压至目标压力，所述阀控制装置具备：信号生成部，基于所述目标压力生成利用关闭控制的开度控制信号；以及开度增量生成部，与所述腔室压力达到规定的压力阈值的时机同步地，生成对应于从所述时机的腔室压力到所述目标压力的开度差的开度增量信号，并将所述开度增量信号与所述开度控制信号相加。

在更优选的形态中，所述开度增量生成部基于所述真空阀的开度、所述腔室压力、所述目标压力及所述开度与所述真空腔室的实效排气速度的相关关系，生成所述开度增量信号。

在更优选的形态中，所述规定的压力阈值被设定在包含所述目标压力的规定压力范围。

在更优选的形态中，所述规定的压力阈值被设定为所述目标压力。

本发明的优选形态的真空阀具备：阀体；阀体驱动部，对所述阀体进行开闭驱动；以及所述阀控制装置，对利用所述阀体驱动部的开闭驱动进行控制。

[发明的效果]

根据本发明，能够实现调压时间的缩短。

附图说明

图1是表示真空装置的概略构成的框图。

图2是表示真空阀的吸气口侧的平面图。

图3是表示阀控制装置的构成的框图。

图4(a)及图4(b)是说明比较例的图。

图5是表示开度调整动作的一个例子的流程图。

图6是表示机体增益的一例的图。

图7是表示压力Pr与预测压力Pp04的关系的图。

图8(a)及图8(b)是表示本实施方式的压力响应和开度θr的图。

[符号的说明]

1：真空阀

2：阀控制装置