[发明专利]阀控制装置以及真空阀有效
| 申请号： | 201911373128.1 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN111750125B | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 小崎纯一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K3/314;F16K3/30;F16K27/04;F16K31/00;F16K37/00 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 薛恒;王琳 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 控制 装置 以及 真空 | ||
【权利要求书】：
1.一种阀控制装置，通过关闭控制对设置在真空腔室与真空泵之间的真空阀进行开度控制，将所述真空腔室的腔室压力调压至目标压力，所述阀控制装置包括：
信号生成部，基于所述目标压力生成利用关闭控制的开度控制信号；以及
开度增量生成部，与所述腔室压力达到规定的压力阈值的时机同步地，生成对应于从所述时机的腔室压力到所述目标压力的开度差的开度增量信号，并将所述开度增量信号与所述开度控制信号相加。
2.根据权利要求1所述的阀控制装置，其中
所述开度增量生成部基于所述真空阀的开度、所述腔室压力、所述目标压力及所述开度与所述真空腔室的实效排气速度的相关关系，生成所述开度增量信号。
3.根据权利要求1或2所述的阀控制装置，其中
所述规定的压力阈值被设定在包含所述目标压力的规定压力范围。
4.根据权利要求1或2所述的阀控制装置，其中
所述规定的压力阈值被设定为所述目标压力。
5.一种真空阀，包括：
阀体；
阀体驱动部，对所述阀体进行开闭驱动；以及
根据权利要求1至4中任一项所述的阀控制装置，对利用所述阀体驱动部的开闭驱动进行控制。
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